MI2121006固体物理-微电子试验教学中心.DOC

《固体物理》教学大纲 课程编号：MI2121006 课程名称：固体物理 英文名称：Solid State Physics 学时： 54 学分：3.5 课程类型：必修 课程性质：专业课 适用专业：微电子学 先修课程：热力学与统计物理，量子力学 开课学期：4 开课院系：微电子学院 一、课程的教学目标与任务 目标：建立固体物理学基本的概念和理论框架，为后续专业课程的学习奠定必要的基础。 任务：掌握晶体结构、固体的结合、晶格振动与晶体的热学性质、能带理论、晶体中电子在电场和磁场中的运动、金属电子论、晶体中的缺陷和扩散、相图等相关知识。 二、本课程与其它课程的联系和分工 先修课程为《热力学与统计物理》、《量子力学》等，后续课程包括《半导体物理》、《半导体器件电子学》等。 三、课程内容及基本要求 （一）晶体结构 （10学时） 具体内容：固体的宏观性质及固体物理学的发展史；课程特点及教学内容安排，晶格实例晶格的周期性晶向、晶面倒格子和布里渊区晶体的对称性。 （三）晶格振动与晶体的热学性质 （10学时） 具体内容：简谐近似和简正坐标。一维单原子链模型，一维双原子链，声学波和光学波。晶格振动。晶格热容的量子理论。 1.基本要求 （1）熟悉一维单原子链和一维双原子链的物理模型，掌握声学波和光学波的概念及其所反映的基元中原子的振动情况。 （2）掌握晶格振动模式密度的概念和推导。 （3）掌握晶格能量的求解方法和量子化修正，声子的概念和意义。 （4）掌握Eintein模型和Debye模型。 2.重点、难点 重点：格波、波矢，声学波和光学波，色散关系，谐振子和声子，晶格振动模式密度，晶格热容，热传导。 难点：晶格振动模式密度，能量量子化，U过程，非简谐效应。 3．说明：晶格振动理论是固体物理学重点内容之一，通过本章的学习可以从原子级的角度加深对晶体热学性质的理解。 （四）能带理论 （11学时） 具体内容：固体中电子的共有化运动，能级分裂与能带，布洛赫定理，克龙尼克-潘纳模型。近自由电子近似，定态非简并微扰和简并微扰。赝势，紧束缚近似-原子轨道线性组合法。能态密度和费米面；费米能级的意义；元素半导体和化合物半导体的能带结构。 1.基本要求 （1）掌握固体中电子运动的特点，掌握Bloch定理的特点及其推论。 （2）掌握近自由电子近似的定态非简并微扰和定态简并微扰的推导过程与结论。 （3）熟练掌握固体中电子波矢k的取值特点及取值范围；熟悉费米分布和玻尔兹曼分布；掌握费米能级的概念和物理意义；了解元素半导体和化合物半导体能带结构的特点。 2.重点、难点 重点：固体中电子的共有化运动，Bloch定理的特点、证明及其推论，近自由电子近似微扰论，费密统计分布与费米能级，能态密度。 难点：动量空间的薛定鍔方程，微扰论；布里渊区中的等能面。 3.说明：固体能带理论是本课程学习的重点，也是后续专业课程的必备基础。 （五）晶体中电子在电场和磁场中的运动 （8学时） 具体内容：准经典运动，恒定电场作用下电子的运动，Bloch电子运动；动量和加速度；有效质量物理意义与各向异性。导体、绝缘体、半导体的能带，半导体中的导电机构。功函数和接触电势，晶格散射和电导。 1．基本要求 （1）了解有效质量的物理意义，掌握Bloch电子运动的速度和加速度。 （2）掌握半导体导电机构，空穴的概念及其物理意义。 2．重点、难点 重点：Bloch电子运动的速度和加速度，有效质量，半导体中的导电机构。 难点：有效质量的各向异性，晶格散射，影响固体电导的各种因素。 3．说明：本章内容是能带理论的重要组成部分。 （六）晶体中的缺陷和扩散 （4学时） 具体内容：点缺陷，线缺陷、面缺陷和体缺陷，扩散和原子布朗运动。 1．基本要求： 了解固体中常见的缺陷，掌握原子扩散的机制。 2．重点、难点 重点：晶体中常见的点缺陷；位错和层错；晶体中原子扩散的机制和Fick定律。 难点：螺旋位错；反肖特基缺陷和反结构缺陷；晶体中缺陷的有序化。 3．说明：通过控制引入缺陷的种类和数量从而调整和控制晶体的各种宏观性质是学习晶体缺陷理论的意义所在，也是进行半导体器件和电路制造的重要方法之一。 （七）相图 （5学时） 具体内容：固体相，固溶体，固溶体的混合熵和自由能；有限和连续固溶体。相变过程实例。 1．基本要求： （1）了解相图的基本涵义和基本理论； （2）了解锗硅固溶体相图、金-半共晶相图及相变规律。 2．重点、难点 重点：锗硅固溶体相图、金-半共晶相图及相变规律