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X射线光电子能谱 （XPS）分析及软件应用 报告人： 汪 鹏 1. XPS X射线光电子能谱 （X-ray Photoelectron spectroscopy）：以一定能量的X射线作为激发源，照射在检测物质表面，激发出光电子，通过对光电子的能量分布进行检测，获取的电子能谱图。 获取信息： 电子结合能 （元素定性） 原子结合状态 （化学价态） 半定量分析 （峰面积比例） 技术特点： 样品用量少 （ 0.1g） 分析范围广（3-92号元素） 不需要预处理 XPS分析示意图 2. XPS数据分析 2.1 数据处理 在分析的所有元素中，选择C 1S 在284.6 ev附近找到最大的峰，将其标定为284.6 ev，对结合能进行修正 峰值 背景值 结合能 以O元素为例，将修正后的结合能与峰值复制至新建的空白TXT文件中，保存 2.2 峰拟合 打开XPS Peak 软件，在XPS Peak Fit对话框中选择Data-Import （ASC Π），输入上步骤保存的TXT文件 点击Background，弹出对话框，调整High/Low BE值，Type，然后Accept-Close 背景起止数值 背景类型 （Shirley，Linear，Tougaard） 加背景后 点击Add Peak，弹出对话框，调整Position （峰位置），点击Accept后对话框消失，选择 Optimise Reg