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热处理对微型磁致伸缩材料传感器磁性能的影响-常州大学学报
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第 卷 第 期 常州大学学报 自然科学版
２７ ２ Vol２７No２
年 月 ( )
２０１５ ４ JournalofChanzhouUniversit NaturalScienceEdition A r２０１５
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文章编号: ( )
２０９５－０４１１２０１５０２００３５０４
热处理对微型磁致伸缩材料传感器磁性能的影响∗
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胡佳佳 叶雪梅 胡 静
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常州大学 材料科学与工程学院 江苏 常州 奥本大学 材料系 阿拉巴马 奥本
１． ２１３１６４２． ３６８４９
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摘要 采用MEMS技术制备了尺寸为５００m×１００m×１５m的微尺度磁致伸缩材料传感器 发现MEMS技术沉积过程中传感
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器内部不可避免地产生了内应力 对传感器磁性能带来不利影响 对微尺度磁致伸缩材料传感器进行真空热处理 旨在消除内应
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力 进一步提高传感器磁学性能 结果表明 真空退火可减小或消除传感器内应力 提高磁学性能 其中最佳退火温度为 ２５０℃ 时
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间为 ２h 该温度下退火不仅可完全释放传感器内应力 还可以改善波谱质量 提高共振频率
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关键词 磁致伸缩材料 传感器 MEMS退火 内应力
中图分类号: 文献标识码: : /
TG７５．５ A doi１０３９６９ issn２０９５－０４１１２０１５０２００８
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EffectofAnnealin onthePerformanceofMicroscale
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ManetostrictiveSensors
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