第9章材料分析方法.ppt

第二篇 材料电子显微分析 第八章 电子光学基础 第九章 透射电子显微镜 第十章 电子衍射 第十一章 晶体薄膜衍衬成像分析 第十二章 高分辨透射电子显微术 第十三章 扫描电子显微镜 第十四章 电子背散射衍射分析技术 第十五章 电子探针显微分析 第十六章 其他显微结构分析方法 第九章 透射电子显微镜 本章主要内容 第一节 透射电子显微镜的结构与成像原理 第二节 主要部件的结构与工作原理 第三节 透射电镜分辨率和放大倍数的测定 第一节 透射电子显微镜的结构与成像原理 第一节 透射电子显微镜的结构与成像原理 二、成像系统 第一节 透射电子显微镜的结构与成像原理 一、照明系统 (一) 电子枪 电子枪有热发射和场发射2种，热发射电子枪由阴极、栅极和 阳极组成，见图9-2。电子枪的负高压加在栅极上， 阴极和栅 极间有数百伏电位差而构 成自偏压回路 栅极可控制阴极发射电子 的有效区域，自偏压回路 的作用是稳定和调节束流 场发射枪性能优异，具有 束斑尺寸小、亮度高、能 量分散度小等特点 第一节 透射电子显微镜的结构与成像原理 一、照明系统 (一) 电子枪 第一节 透射电子显微镜的结构与成像原理 一、照明系统 (二) 聚光镜 高性能透射电镜采用双聚光镜系统，见图9-3。第一聚光镜是 强励磁透镜，作用是缩小或调节束斑尺寸， 将电子枪交叉斑 减小10 ~ 50倍；第二聚光镜是弱 励磁透镜，用以调节照明强度 聚光镜的作用是以最小的损失， 减小和调节束斑尺寸、调节照明 强度和照明孔径半角 第一节 透射电子显微镜的结构与成像原理 二、成像系统 (一) 物镜 第一节 透射电子显微镜的结构与成像原理 二、成像系统 (一) 物镜 物镜是用来形成第一幅图像的透镜， 所以透射电镜分辨 率的高低主要取决于物镜，物镜是最核心的部件 物镜是一个强励磁、短焦距的透镜 ( f =1~3mm)，高质量物镜 的分辨率达0.1nm左右，放大倍数一般为100~300倍 入射电子束穿过样品经物镜聚焦成像， 在物镜背焦面上形成 衍射花样，在像平面上形成显微图像 物镜的分辨率主要取决于极靴的形状和加工精度， 极靴内孔 和上下极靴之间的距离越小，物镜的分辨率就越高 第一节 透射电子显微镜的结构与成像原理 二、成像系统 (二) 中间镜 第一节 透射电子显微镜的结构与成像原理 二、成像系统 (二) 中间镜 中间镜是弱励磁、长焦距的变倍率透镜 作用之一是利用其可变倍率控制 电镜的总放大倍数 二是用以实现透射电镜成像操作