加速器-电镜联机的离子光路及其调整方案.pdfVIP

第42卷增刊 原 子 能 科 学 技 术 Vo1．42，Supp1． 2008年9月 AtomicEnergyScienceandTechnology Sep．2008 加速器一电镜联机的离子光路及其调整方案 叶小舟，杨 铮，周 霖，欧阳中亮，黎 明，刘传胜，郭立平，任 峰，蒋昌卷，付德君 (武汉大学 物理学院 加速器实验室 ，湖北 武汉 430072) 摘要：离子辐照引起 的材料微结构变化是一个复杂 的过程 ，用加速器一电镜联机装置可原位观察载能离 子束辐照引起的材料微结构演变 。武汉大学加速器一电镜联机装置由 1台2×1．7MV 串列加速器、1台 200kV离子注入机和 1台200kV透射 电镜组成 ，通过 自行设计的传输系统实现联机 。本文介绍联机 装置的光路布局，给出了静 电加速器离子动力学计算程序 LEADS(1inearandelectrostaticaccelerator dynamicssimulation)优化计算的结果，提出了两种改进方案 ，并用 LEADS对改造后的加速器一电镜联机 中离子运动进行 了计算。结果显示 ，调整现光路二单元四极透镜 的同时，在 200kV注人机 9O。偏转磁铁 至电镜之间增加 1个二单元静 电四极透镜 ，将提高该系统中离子束传输效率 。 关键词 ：加速器 ；离子注入机；透射电镜 ；联机 ；离子光路 中图分类号 ：TL505 文献标志码 ：A 文章编号：1000—6931(2O08)SO一0276—05 OpticsCalculationandBeam LineDesignforAccelerator—TEM Interface YE Xiao—zhou，YANG Zheng，ZHOU Lin，OUYANG Zhong—liang，LIM ing， IIUChuan—sheng，GUOLi—ping，RENFeng，JIANGChang—zhong，FUDe—jun (AcceleratorLaboratory，WuhanUniversity，Wuhan430072，China) Abstract：Accelerator—transmission electron microscopy(TEM ) interfacefacility iSa usefultoolforthestudy ofmaterialsbecauseofitsin situ observationfunction thatiS applicabletOthecomplexevolutionofmicrostructuresduring ion irradiation．Thefirst accelerator—TEM interfacesystem inChinahasbeen establishedatW uhanUniversity． whichconsistsofaHitachiH800 TEM ，a 200kV ion implanteranda 2×1．7 MV tandem accelerator．Thepapergivesthelayoutoftheequipmentandionopticalcalcula— tionresultswhichprovidepossibleadjustmentofthesystem toimproveitsperformance． Thecalculationresultsuggeststhattransportefficiencyoftheionbeam canbeenhanced byaddinganotherdualityelectrostaticquadrupleincompanywithadjustingtheoriginal magneticquadrupoles． Keywords：accelerator；implanter；transmissionelectronmicroscopy；interfacesystem； beam 1ine 收稿 日期修回日期 ：2008—07—23 基金项目：国家