玻璃三通微流体管道热流变拉制仪研制.pdfVIP

玻璃三通微流体管道热流变拉制仪的研制1 张晓乐，侯丽雅，章维一 南京理工大学微系统研究室，南京（210094 ） E-mail：zxl0665@163.com 摘 要：在玻璃三通微流体管道热流变拉伸成形工艺基础上，设计了玻璃三通微流体管道热 流变拉制仪。在三通微管道拉伸成形过程中，变形区热软化后的 V 形玻璃毛细管，在冷却 过程中一次性拉制成三通微管道，储液池在拉制过程的同时成型，并与三通管光滑连接。拉 制仪可实现等内径和不等内径拉伸。通过对加热时间、拉伸行程和玻璃材料分配系数的调节， 可以控制三通微管道各项参数。制备出的三通微管道内径在微米级，三根微管道在三通结点 处光滑连通，表面张力成型的微管道具有较高的表面质量。以三通微管道和一维玻璃微管道 为基础单元，组建了微流体管道网络。 关键词：微流体；拉制仪；三通微管道；微管道网络 中图分类号：TH705 O652.2 文献标识码：A 1. 引言 微流体系统是目前微系统研究的一个热点，作为微量流体驱动和流动的平台，微流体器 件在生物医学工程、微全分析系统(µTAS ）、微传热、微化学等领域有着重要的应用前景。 [1] 近年来，微流体器件的制作技术快速发展，制作技术从传统的光刻工艺发展到模塑法 、激 [2] [3] [4] 光烧蚀法 、热压法 、软刻蚀法 等多种方法。通用的二维微流体器件制备工艺通常是先 在基片上加工出未封闭的微沟槽网络，然后通过键合工艺将基片与盖板封接在一起从而形成 密封的微管道系统，微管道结构的加工成形方向一般与管道轴线所在平面垂直。多年来，研 究者们一直致力于简化微管道加工工艺过程，降低制作成本，缩短制备周期，提高微管道表 面质量。 微流体数字化技术以裸微结构的微流体器件为微量流体的流动载体[5]，通过裸微结构的 微流体器件，将小幅脉冲惯性力施加于微量流体，在惯性力与粘性力交替作用下实现流体在 微管道中的数字化脉冲流动[6] 。为了获得具有良好微流动特性的圆截面微流体器件,并在此基 础上构建二维裸微结构微流体管道网络，南京理工大学微系统研究室设计了基于热流变拉伸 成形原理的玻璃三通微流体管道制备工艺[7] 。本文在此工艺基础上设计了玻璃三通微流体管 道热流变拉制仪。 2. 工艺 2.1 工艺原理 玻璃是传统的化工容器材料，由于其在力、电、光、热等方面的良好特性，成为微流体 器件的主流基材之一。玻璃是一种热粘弹性材料，从流变制造角度来看,玻璃的成型过程是 一个复杂的粘弹材料流变成型过程[8] 。根据玻璃成型的特点，在微管道拉伸成型工艺中，先 将玻璃毛细管变形区加热至成型温度，使其达到半熔融状态。然后在其冷却固化过程中沿轴 向对其施加一个瞬时的拉伸力。半融区的毛细玻璃管在沿拉伸方向伸长的同时内外径减小， 从而完成圆形截面微管道成型。拉伸力牵引玻璃半融体发生变形，玻璃和空气间的表面张力 保证微管道内外壁面获得正确的圆柱形状。采用此工艺，微管道的加工成形方向在微管道轴 1本课题得到教育部博士学科点专项科研基金（20060288005 ）;江苏省自然科学基金（BK2007209 ）的资助。 -1- [7] 线平面内。采用该工艺可制备理想圆截面的玻璃微管道 。 2.2 工艺过程概述 玻璃三通微管道成型过程如图 1 所示，主要分为以下三步： 图 1 三通管道热拉伸成型示意图 Fig.1 Hot-pulling process of three-way microchannels （1）毛坯弯制：将制作电极用硼硅酸盐玻璃毛细管（内径 1.0mm,外径