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静电计_高阻表
6517B 静电计/高阻表
吉时利5位半6517B静电计/高阻表提供的精
度和灵敏度指标高于其他同类型仪表。它还具有
完备的功能,使测量高阻和绝缘材料电阻率变得
简单。6517B具有425读数/秒的测试速率,比同
类型的静电计快很多,可以提供快速、简易的弱
电流测量能力测量弱电流。
出众的性能指标
率 半机架型6517B静电计/高阻表具有特殊的低
阻 电流输入放大器,其输入偏置电流3fA,噪声仅
电
的 0.75fA p-p (峰-峰) ,输入端压降20μV。对于
料 接近理想的电路负载,其电压和电阻测量的输入
材 阻抗是200TΩ 。这些性能指标确保物理、光学、
缘
绝 • 电阻测量可达1016 Ω 纳米技术和材料科学等研究领域低电流和高阻抗电压、电阻和电荷测量所需的准确
和 度和灵敏度。内置±1kV的电压源具有扫描能力,从而简化漏流测试、击穿电压测试
阻 • 电流测量范围1fA - 20mA 和电阻测试,以及绝缘材料的体电阻率(Ω-cm) 及表面电阻率(Ω/square) 的测量。
电 • 最小电流量程输入端压降20µV
高 测量范围宽
量 • 200TΩ 输入阻抗
测 6517B型静电计/高阻表具有全自动量程,超过电流、电阻、电压和电荷测量满
化 • 3fA 偏置电流 量程:
简
• 测试速率高达425 rdgs/s • 电流测量范围:1fA - 20mA
• 噪声0.75fA p-p • 电压测量范围:10μV - 200V
• 电阻测量范围:50Ω - 1016Ω
• 内置±1kV电压源
• 电荷测量范围:10fC - 2μC
• 独特的高电阻测量电压反接方法 改进的高灵敏度测量
• 可选的插件式扫描卡
许多测试应用要求测量高级别材料的电阻率 (面电阻率和体电阻率)。传统测
量方法是对样本施加足够高的电压,测量流经样本的电流,然后利用欧姆定律(R=V
/I)计算其电阻。虽然高阻材料和器件产生很小的电流,很难准确进行测量,但利用
吉时利静电计和皮安计则可以成功地进行这种测量。
即使利用高精度仪器,材料中固有的背景电流使得进行准确测量较为
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