7 全花岗岩精密气静压线性载台之制作.pdf

產學合作成果專刊 7. 全花崗岩精密氣靜壓線性載台之製作 陳建昌副教授大漢技術學院 機電科技系 蘇武璋總經理比智聖工業股份有限公司 摘要 花崗岩材料具有耐酸鹼 、抗腐蝕 、抗磨耗與尺寸安 定性高等絕佳之特性 ，適用於嚴苛之使用環境及幾何公 差要求極高的場合 。以此材料製成的精密構件在精密機 械 、精密檢測設備裡所占技術關鍵性極高 ，同時亦是高 科技製程產業中極為需要的一類元件 。 本計畫以花崗岩為素材製作全花崗岩精密氣靜壓 線性載台 （軸承），製作過程是利用游離研磨技術 ，將 花崗岩研磨成各式精密構件 ，再加以鑽孔 、刻槽 ，最後 組裝成單軸精密氣靜壓軸承 。組裝後經初步檢測發現 ， 此軸承展現極佳之性能 ，其穩定性高 、用氣量極少 、幾 乎無摩擦且運動時直線精度極佳 ，同時可承受極大之負 載。 精密移動載台是精密工具機與檢測設備的一項關 鍵元件 。高性能的移動載台將可提高設備的精度並減低 動力消耗 。本計畫研製之全花崗岩精密氣靜壓線性軸承 有機會成為新ㄧ世代精密機械與精密檢測設備之移動載 台 。 一、簡介 精密機械與檢測設備對其構件之幾何精度 、剛性 、 防振能力與穩定性等性能要求極高 。天然花崗岩在這方 圖一全花崗岩精密氣靜壓線性載台之製作流程 面展現出絕佳的特性 ，尤其是天然印度黑花崗岩 、印度 深黑花崗岩等 ，具有極佳之幾何尺寸穩定性不易變形 、 熱脹係數與吸水率低不易受環境溫濕度影響 、耐磨性強 詳細製作步驟說明如下 ： 不易產生刮痕 、吸振能力佳 、比重低結構輕 、低磁性反 石材選材與尺寸切割—本計畫所選用的石材為印 應及無塑性變形 ，耐酸鹼及抗腐蝕等優良特性 ，使得這 度黑花崗岩 ，主要原因為印度黑花崗岩幾何尺寸穩定 些天然花崗岩成為製造精密平台 、規塊或精密加工機 性佳 、熱脹係數與吸水率低不易變形與耐磨性強 。石 械與檢測儀器床台 、構件之理想材料 。其優越之材料特 材選定後即依據構件所需要的尺寸與數量進行裁切 。 性為一般傳統鑄鐵或其他材料所無法比擬 。基於以上原 構件之機械初研磨—石材裁切後 ，必須先利用銑 因 ，現今天然花崗岩已逐漸被應用在高速精密機械以及 床與磨床以鑽石刀具將各構件的尺寸與幾何形狀研磨 高精密儀器的運動構件與床台結構上 。 至較佳的狀態 ，以節省後續人工研磨所需的時間 。通 常經過磨床研磨後 ，花崗岩構件的真平度可達10µ左 本計畫係以花崗岩為素材 ，製作全花崗岩精密氣靜 右 ，平行度可達20µ左右 ，而垂直度可達30µ左右 。機 壓線性載台 （軸承），製作過程是利用游離研磨技術 ， 械研磨情形如圖二所示 。 將花崗岩研磨成各式精密構件 ，再加以鑽孔 、刻槽 ，最 後組裝成單軸精密氣靜壓軸承 。在組裝完成後並對此線 性載台進行測試 ，以了解其各項性能 。 二、研磨與製造程序 本計畫所製作的精密氣靜壓線性載台製作流程如圖 一所示 。 圖二龍門銑床銑削花崗岩構件情形 32 產學合作成果專刊 構件之人工精密研磨—花崗岩構件的最終精度是 精密氣靜壓線性載台組裝—組裝過程中必須先將相 人工研磨而成 ，此步驟為整體全花崗岩精密氣靜壓線性 關金屬牙套與花崗岩構件間以A B膠進行膠合 ，使其達 載台製作過程最為關鍵的步驟 ，同時也