成功大学微奈米科技研究中心无尘室规范.PDFVIP

修訂日期 ：2013/11/8 成功大學微奈米科技研究中心無塵室規範 無塵室門禁規範  凡需使用本中心無塵室內設備者，需先通過安全講習課程，申請磁卡。  若需於夜間進入儀器設備大樓，請向儀器設備中心申請夜間門禁。  無塵室24 小時開放各界使用，預約機台或濕式蝕刻區後，可進入無塵室 。  濕式蝕刻區由於安全因素，僅開放 8:00-17:00 。  嚴禁轉借他人之門禁卡或夾帶未經核准人員進入無塵室。 進入無塵室前之注意事項  請先以電腦預約機台或濕式蝕刻區 。  請先將外鞋脫下放入鞋櫃，再進入換衣區換穿無塵衣、無塵鞋。  請將非無塵室使用之物品 (提袋、書籍、紙箱等）置放於置物櫃。  請將厚重外套或毛衣，吊掛於外衣區。  進入無塵室，請依規定於換衣區換穿無塵服裝。  本中心定期清洗無塵服裝，為維護無塵服裝衛生，請穿著襪子。  無塵衣穿著程序：(1)髮罩，(2)口罩， (3)無塵衣頭罩下擺必須完全紮入無塵衣之衣領( 內 ) ，(4)無塵鞋。  請進入空氣洗淨室作空氣浴，不可超過 2個人同時進入，請站立於空氣洗淨室中央 輕微搖動雙手、雙腿，以幫助灰塵掉落。  無塵室內請勿使用普通紙本及鉛筆，需使用無塵室專用紙。(無塵室專用筆記本，請 洽詢本中心櫃台) 實驗室內之注意事項  在無塵室內，不得抽煙或飲食，或從事與實驗無關之事務。  無塵室之使用含儀器、化學藥品使用等( 請) 遵照各設備管理規範，若有疑問，請先洽 管理者。  使用者不當使用無塵室所造成之任何損害，使用者須照價賠償，並視情形由管理者 決定停權時間。  無塵室內所有儀器，必須通過各儀器管理者訓練及認證 ，不得私自訓練或隨意使用。 第一次違反此規則者，即禁止使用無塵室一個月；持續違規將被永久禁止使用無塵 室。  儀器用畢需將其恢復正常儀器狀況，儀器使用情形須詳實登錄於使用記錄簿。  無塵室可攜入各自的工具箱（內裝實驗所需之自備小工具）進入，但工具箱外需標 示所屬實驗室及姓名，工具箱使用結束請放於無塵室儲物櫃內，勿隨意放置或擺置 黃光室內。  避免非必要的物品留置於無塵室內，晶片、化學藥品用完後應儘速移走。所有個人 物品(燒杯、晶片、簿本、小工具、光罩，等等) ，若未標示名字且非放置於所屬櫃位 內，管理者 將做適當之處理。  進入無塵室之任何物品須先經清洗除塵之手續。若要攜帶自有之化學藥品進無塵室， 請告知無塵室管理者。  在黃光室處理或使用化學藥品時，必須戴手套、口罩及安全護目鏡。可能有危險性 之化學藥品只得於黃光室之化學抽風櫥內使用。使用抽風櫥時需將櫥門(玻璃安全門) 維持在安全高度以下。不要把頭伸進抽風櫥。  任何使用中的化學藥品，必須在使用之容器(如燒杯等)上標明使用物內容及使用者姓 名。並在使用完成後立即清理乾淨。  無塵室內所提供之所有溶劑藥品及耗材僅供無塵室內使用，不得攜出。  每次實驗結束之後，藥品、燒杯、晶片所有相關設備物品等 ，務必物歸原位，或做 適當處理。 安全及廢棄物相關規範 無塵室內絕對禁止任何可能造成自身或是別的使用者有危險之行為。並需嚴格遵守成功大學微 奈米科技研究中心實驗室安全及政府勞工安全所有相關規範。 緊急狀況處理  遇有氣體外洩、化學藥品翻灑及火警等緊急狀況請先離開實驗室後，通知相關人員 協助處理。  請撥成大緊急應變電話 : 2757575 ext.66666 ，同時並請聯繫本中心人員。 廢棄物處理  所有廢棄物及用過之化學品應依規定之方式處理及傾倒。  隨時保持整潔，勿將垃圾留給別人。  勿將酸及有機溶劑混合傾倒，以免爆炸。  各