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400Hz激励下水面的振动分析 在一些特定的应用中，如超声设备、PZT、MEMS等，需要测试较高的频率，LDV很好的满足的客户的要求 应用举例：超声振动测量 图为LDV监测机械工作台振动,当各器件工作在正常状态时基台处于特定的平稳振动状态，当器件发生磨损、松动等状况时，都会造成机械部分工作在非平衡状态从而产生特殊的振动，通过分析LDV的振动数据可以分辨非正常状态，达到系统检测作用 应用举例：系统监控 发展趋势 更廉宜的价格、更小的体积? 目前制约激光多普勒测振仪代替加速度传感器，获得更广泛应用的主要因素是价格和体积。随着半导体激光器技术的发展，使用半导体激光做为光源成为可能，结合几何光学系统的更加紧凑和小型化，小型低价的激光多普勒测振仪有望成为现实。 ? 更高的面内分辨率? 微机电系统(MEMS)要求微米量级或更高的面内分辨率，需要显微激光多普勒测振仪来达到缩小激光光点从而满足微观振动测量的要求 ? 更远的测量距离? 桥梁、水坝和楼房的振动测量结果是质量验收的一个重要标准，是激光多普勒测振仪一个重要应用领域。该方面的应用，要求发展探测距离更远的激光多普勒测振仪。 ? 多通道实时测量? 大到飞机、汽车，小到微机电系统，都有对一个面积内多点的振动进行实时测量的要求。目前的激光多普勒测振仪仍以扫面测量为主，不能实现多点并行实时测量。而以多台激光多普勒测振仪组成的多通道测量系统，又有成本高和安装调试复杂的缺点。因此发展多通道实时测量系统是一个方向。 * Thank you 谢谢！ Email: cgzhu@.sg Tel: +65 Fax: +65 Web Site: .sg * 2010年9月7日 朱传贵 光学精密测量技术与仪器 光学精密测量仪器综述 光学精密测量仪器综合了光学、机械、电子、自动控制和软件多种专业，其技术内涵宽广，产品种类繁多，应用领域广泛，是制造工业的支撑基础之一。光学精密测量仪器具有快速、精确及非接触无损伤地测量多种物理量的特点，近年获得了极大的发展和越来越广泛的应用。 今天以舜宇仪器新加坡公司（SIS）研发生产的三维全自动影像测量机和激光多普勒测振仪为例，介绍一下现代光学精密测量技术与仪器的技术特点、应用案例和发展趋势。 舜宇仪器新加坡公司简介 舜宇仪器新加坡公司（SIS）为一在新加坡注册的，舜宇控股的，有独立法人地位的有限责任公司。 在三维光学测量与检测领域，特别是在亚毫米、微米及纳米三维坐标测量领域，从事技术研究、产品开发、生产、销售与服务。 苏州舜新仪器有限公司是SIS的独资子公司 尺寸、形位测量仪器 光学投影仪 测量显微镜 影像测量机 振动、位移测量仪器 激光多普勒测振仪 激光多普勒测振仪 三角法和共焦微位移计 激光测长尺 激光三角法微位移计 MV-322 三维全自动影像测量机? 产品分类 根据工作台驱动模式分类 手动坐标测量仪 自动坐标测量仪 根据传感器模式分类 接触式坐标测量仪 非接触式坐标测量仪 混合式坐标测量仪 视频+探针 视频+激光 视频+光纤 根据取点模式分类 手动取点 自动取点 根据聚焦模式分类 手动聚焦 自动聚焦 固定桥式结构 桥式 固定桥式 悬臂式 水平臂式 台式 立式 固定桥式特点 系统的稳定性和可靠性高 最大限度地减少了阿贝误差的影响 测量空间大而占地空间小，安全性高、测量精度受被测工件重量和摆放位置影响小 采用了铸铝结构，大大减少了机器的重量。 测量软件 自动边缘检测 19种几何测量功能 自动批量测量 自动聚焦 自动光源控制 CAD 叠加（增强现实技术） 多传感器融合的测量软件设计。从体系结构上充分考虑了现代光学测量仪器多传感器融合的特点，做到了从最底层对各种传感器的兼容。其兼容了接触式测头的混合式测量机，做到了影像测量和接触测量功能的高度统一。事实上，除了取点方式不同，其它计算功能是完全通用的。 CAD叠加（增强现实技术） 增强现实技术结合了虚拟现实技术和现实影像，通过导入被测工件的CAD设计图并与实际被测工件配准，可以把CAD设计图精确叠加在被测工件的实际影像上，使得测量人员可以通过观察二者的匹配情况快速发现误差或异常情况。 影像测量机应用领域 Surface Area LINE WIDTH Height 测量和检测太阳能面板的长度、宽度和高度，表面裂纹是近年来的新兴需求。太阳能面板将吸收到的光能转化为热能，吸收面积的大小直接影响了热能的大小。MeasurE软件增加了面积测量功能，可以精确的测量太阳能面板受光面积，便于计算能量转换效率。 应用举例：太阳能面板 应用举例：塑胶模具 SIZE HAIRLINE CRACK 塑胶材质柔软，一旦接触很有可能改变其形状，三维影像测量机进行非接触测量即可