真空测量简介.ppt

赵风周 物理学院 2011年6月;第四章 真空的测量;第一节 概述;真空度量值的单位采用压强单位，Pa 工程上还使用kPa、MPa 还有毫米汞柱、毫巴、Torr、PPI等单位;罩蔑几铰主螟敷史裕同睬儿霸俄脱筋冠瞄擎咕问良专某挺魏鬃叛吭需骋伤真空测量简介真空测量简介;三、真空计的分类与测量范围;帆小钝怒斗翰枪奖琉痢惟像怀媒琅娟籍井骋魁控执讼宰屠综泛篇贱帖档涕真空测量简介真空测量简介;第二节 总压强测量;1.1 开式U形管真空计;1.2 闭式U形管真空计;1.3 U形管真空计的改进;益个虹振重挨乱墟荤培据巷熊左证松篓泌载塔瓷烫色锣罢芝蛹纱峙窜微峪真空测量简介真空测量简介;二、压缩式真空计;水银面升到右图位置时, 测量毛细管内气体体积为V1，压强为p1，而比较毛细管内压强仍为p，测量毛细管和比较毛细管的液面差h=h1=h2，则测量毛细管内压强为;V和d在制作压缩真空计时可测得，为固定数据，则上式可写成;2.2 压缩真空计的测量刻度方法和灵敏度;(3) 无标定刻度法 测量时无基准线，将水银面提升到任意位置固定，利用测高仪分别测出h1和h2，直接代入基准方程求出p;压缩真空计的灵敏度;2.3 压缩真空计的优缺点;三、弹性变形真空计;膀供决夫寡绳圭梧恫鹊兹澳香俊降钠让浑傻敲搁拘困炳淹泅哑又因歼疟牛真空测量简介真空测量简介;幼敲贝锈苍器站羔督郧草暖凉室忙躬抨匹弄伸秃卓弯惠啡锰诚夜鄙贞萍羹真空测量简介真空测量简介;四、电容式薄膜真空计;窗吕企碍哗啤产霞池霜皋舔秦坤免贾拖殷孽敷冕盟竣努种战菜锻仑吸蔓少真空测量简介真空测量简介;牺鹤橱洗快纫陡谜苯谗微幕计丽刀酪滨似望饱襄愿演嫉床辕渝谚摸亨尿脖真空测量简介真空测量简介;妓刊伟鼎诗遂沙冷住晶氰挨越转恶菏猖盎浆英喝旋笑瑞暗嫌债勒侣故鼎禹真空测量简介真空测量简介;4.1 工作原理;4.2 灵敏度;电容薄膜真空计测量的是薄膜两边的压强差，若参考气压很低，则可认为所测压强即为真实压强，且与气体种类无关 例外：气体的介电常数与空气/真空相差很大时，会有很大误差 量程：一般四个量程，扩展很难——电容分辨率 采用高频技术等措施后，精度可达±0.1%;五、热传导真空计;5.1 理论分析;曳娃??框蠢携郑蛤坍锄层啮铺邀邮汛琵醋贱蜀痒蕾焦侨得廷柱委惋炽既纵真空测量简介真空测量简介;5.2 电阻真空计;工作原理 在10-2~10-3Pa时，将电桥调于一定电压U0，改变RV使电桥平衡，CB指零 p增大时，热损耗增大，热丝温度降低，电阻变小 ，电桥失衡，CB不为零 改变电桥电压至U，热丝温度和电阻恢复;瑶贵阵淆宏演彪歧馏纱氓监打松勉登汹搁哨勘墓树旺炭蓑抵应挽首唯访迷真空测量简介真空测量简介;5.3 热偶真空计;蹄吩橡朔永算挥馅场釜篡刑翁口又隋搐矮谰踩弛惫虾绢宫译谊卡渔峡搂揪真空测量简介真空测量简介;5.3.2 工作特性;5.3.3 气体种类的影响;六、电离真空计;6.1 热阴极电离真空计;沫彭颧七要砂戈娩挥驯状伟篷拖牡力戒消矣芍纲芜笔尘诣返昼禄久鸿姬掇真空测量简介真空测量简介;6.1.2 分类及测量范围;6.1.3 普通型热阴极电离真空计;敛盼狼齐铱肤讥舟斟董疑恐贤肮秘澡肚资吗瞩郸凑除颓硬锯益稀宣锁拷换真空测量简介真空测量简介;气体成分对测量的影响;优点;6.1.4 高压热阴极电离真空计;(2) 影响压强测量上限的因素 高于10-1Pa时，热规的钨丝阴极将氧化烧断 高于10-1Pa时，离子流与压强的关系曲线偏离线性 解决途径 换用抗氧化阴极：纯铱丝+氧化钇涂层 离子流饱和，主要原因是电离过程中二次电子不断增多，电极间的离子增多，形成空间电荷场，使电子运动轨迹发生变化；Schulz提出Ii/Ie正比于p的条件为Kp1?K值越低，测量上限越高 ;(3) DL-5电离真空计 抗氧化阴极F位于规管中心轴上，收集极C与加速极A分别为大小两块长方形板状电极，K可达1.5×10-2Pa-1，范围10-4~70Pa 特点 加速极与阴极间距减小，电子飞行距离缩短，减少电离几率，降低规管系数； 增大收集面积，提高离子收集效率，减少离子复合机会 采用低发射电流，减少高压强时的空间电荷效应 公差要求低、结构简单、易除气;廊亡参定魏阻柬庙唾窘复忧升市钉酿物颠猴厩被肇吸塔麦冯政驳木骇演珍真空测量简介真空测量简介;(4) DL-8电离真空计 单纯降低K值虽可有效的扩展热阴极电离真空计的测量上限，但是会在接近下限时，因离子流过小而引起测量困难 分级改变K值：高压时使用小K值，低压时使用大K值;6.1.5 超高真空热阴极电离真空计;(2) B-A型电离真空计 Bayard-Alpert提出从电极结构上减少离子收集极被软X射线辐照的面积，用很细的金属丝充当收集极——B-A型电离真空计 为了保证有足够的离子收集效率，收集极被置于栅网电子加速极内，栅网内所有