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卒业研究报告-kochi
卒業研究報告
題目
直流パルス放電N2 プラズマとマイクロ波パルス放電Xe プラズマの分光測定
報 告 者
学籍番号：1100222
氏名：東上 尚矢
指 導 教 員
八田 章光 教授
平成22 年2 月1６日
高知工科大学 工学部 電子･光システム工学科
目次
第1 章 序論 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・3
1.1 背景 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・3
1.2 目的・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・3
1.3 論文の構成 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・3
第2 章 気体放電とプラズマ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・4
2.1 気体放電 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・4
2.2 気体放電中の電子現象 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・5
2.3 プラズマ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・7
2.4 パルス波 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・8
2.5 エキシマ発光 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・8
第3 章 直流パルス放電 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・9
3.1 目的 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・9
3.2 実験装置と手順 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・9
3.3 実験結果 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・11
3.3.1 電流電圧波形 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・11
3.3.2 N2 プラズマの分光結果・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・11
3.3.3 放電の様子 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・12
3.4 考察 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・16
3.5 まとめ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・16
第4 章 マイクロ波パルス放電 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・18
4.1 目的・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・18
4.2 実験装置と手順 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・18
4.3 実験結果 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・2 1
4.3.1 Xe エキシマ発光の分光結果 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・2 1
4.3.2 周波数、duty 依存性 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・22
4.3.3 放電の様子 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・22
4.6 考察 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・25
4.7 まとめ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・25
第5 章 結論 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・26
1
参考文献 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・27
謝辞 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・28
2
第1 章 序論
1.1 背景
紫外域の発光は洗浄、殺菌、光源にと幅広く利用されている。紫外域の発光
を強くするために電子に大きいエネルギーを与えることが求められている。気
体放電では放電開始時には高電圧がかかっているが数μsで放電維持電圧になり
電圧を変えることができなくなる。Xe にはエキシマ発光という強い真空紫外域
の発光があるが、エキシマはエネルギーを与えすぎると破壊されてしまいエキ
シマの発光効率が悪くなる。
1.2 目的
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