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第19卷第3期 光学精密工程 V01．19 No．3
andPrecision
2011年3月 0ptics Engineering Mar．20ll
文章编号1004—924X(2011)03-0612-08
微加热器热传导试验与计算
刘泽文1，田 昊2，刘 冲2
(1．清华大学微电子学研究所，北京100084；
2．大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室，辽宁大连116024)
摘要：为了研究微加热膜下方的结构与微加热器性能的关系，利用数值计算与有限元仿真，研究了微加热膜下方空气隙
厚度的变化对加热器性能的影响。首先，通过微加热器试验确定了对流换热系数等关键热学汁算参数，建记了一维
Fourier导热微分方程组，计算了Biot数并以此为依据对模型进行了薄壁简化，使用有限差分法对微分方程进行了数值
计算。然后，使用ANSYS有限元分析软件对模型进行了电热耦合仿真，并对在对流换热边界F硅衬底(无空气隙)，
100，200，300，400肛m气隙以及加热膜(完全贯通)6种模型的瞬态温度响应及稳态热分布的结果进行了对比。计算结果
表明，相比硅衬底。目前的微加热膜结构在同样边界条件下可以将最高温度提高约17％。空气隙为200 V
iLm时，在+5
mw，起到r改善最高温度性能，降低功耗
驱动电压和空气对流边界条件下，微加热器可以达到390K，稳态功耗为134
的作用。
关键词：微加热器；Biot数；Fourier传热
中图分类号：0551．3：TP212文献标识码：A doi：10．3788／OPE0612
andthermalcalculationofmicroheater
Experiment
LIUZe—wenl。TIANHa02，I．IU
Chon92
(1．Institute 100084，China；
ofMicroelectronics，TsinghuaUniversity，Beijing
LaboratoryforMicro／Nano and Province，
2．Key TechnologySystemoJ’Liaoning
Dalian 116024，China)
UniversityofTechnology，Dalian
thenumericalsolutionandFiniteElement effect
Abstract：Byutilizing
oftheair a
beneath membraneonthe ofamicroheaterwascalculatedand
gap heating performemce
simulated．Thethermalconvectioncoefficientwas froma 1D
acquired heatingexperiment．Then，a
Fourierheattransfer was theBiotnumbercalculatedandthe
equation
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