原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
微加工-10 - 真空
第 10 章 真空科学和等离子体; 10.1 气体动力学理论; 气体分子在两次碰撞之间的平均距离，即 平均自由程; 单位 转换因子
标准大气压（atm） 1.333 ?10-3
帕或牛顿每平方米（Pa） 133.3
磅每平方英寸（PSI） 1.933 ?10-2
当将 Torr 转换成所列单位时乘以转换因子，将所列单位转换成 Torr 时除以转换因子。 ; 10.2 气体流动及传导率; 10.3 压力范围和真空泵; 集成电路制造中使用的初真空泵一般采用旋转叶片泵，也称为机械泵。单级旋转叶片泵能达到的真空度约为 20 mTorr ，而两级旋转叶片泵的真空度则能达到 1 mTorr 。; 集成电路制造中使用的高真空泵可分为两大类：一类是转移动量给气体分子而抽吸气体，如扩散泵和涡轮分子泵，主要用于抽吸腐蚀性气体和有毒气??，或抽吸大流量气体。另一类是俘获气体分子，如吸附泵、钛升华泵和溅射离子泵，主要用于抽吸小流量气体，或在需要极高洁净度的场合。; 10.4 真空密封和压力测量; 等离子体是部分电离的气体。等离子体中的气体分子受到电子碰撞后会发生激发和离化，等离子体中除了含有带电的自由电子和离子外，还含有大量处于激发态的、不稳定的、化学性质十分活泼的中性分子或原子，称为 游离基（或 自由基）。当原子被中等能量的电子碰撞后，其内层电子将被激发到高能状态而成为游离基。游离基的寿命极短，当电子返回基态时，将发射出可见光，这就是 辉光放电。 ; 典型条件：气压 1 Torr，电极间距 10 cm 时电压约 800V，电极间距 5 cm 时电压约 500V。; 10.6 射频放电;工作气体;直流偏压;直流电位; 10.7 高密度等离子体; 1、平行磁场; 10.8 小结
文档评论（0）