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压电压电传感器
第 四 讲压电式传感技术; 主要用于动态作用力、压力和加速度的测量
一、压电式传感器的工作原理
(一)压电效应
某些晶体在外力的作用下,不仅几何尺寸发生变化,而且晶体内部产生极化现象,晶体表面出现电荷,形成电场。当外力去除后,晶体恢复原状,这种现象称压电效应。;压电材料:具有压电效应的材料
逆压电效应:将压电材料置于电场中,其几何尺寸也会发生变化,这种现象称为逆压电效应或电致伸缩效应。
(二)石英晶体的压电效应
1.石英晶体材料的特性
石英晶体即二氧化硅无水
化合物,SiO2
①具有理想的线性,无滞后
②刚性好; ③频率响应范围宽,特别适用于动态测量
④稳定性好,时间老化率低,无热释电现象
⑤居里点高,573℃,对温度的敏感性比电阻、电感类要低得多,因此灵敏度变化极小
⑥具有较高的绝缘阻抗; 、 和 ,其大小为:
;(2)、石英晶体受到沿X轴方向的压力作用,即FX 0,如图6—2(B)示。石英晶体将在X轴方向产生压缩变形,正、负离子的相对位置发生变化。正硅离子①被挤入到负离子②和⑥之间,负离子氧④被挤入到正离子③和⑤之间,此时石英晶体不再是正六边形了,因而正、负电荷中心不再重合,电偶极矩矢量和在X、Y、Z三个轴方向的分量,分别为:
结果在沿X轴正向垂直表面上出现负电荷,其相对表面出现正电荷。;劣侧梯校硅楚达灵喻臻裹侧姆意贞休警赊鄂阂褒颅泌父峡霸伴盘履锻犀乘压电压电传感器压电压电传感器;3.石英晶体的压电效应
①纵向效应
x0°切割,沿x轴方向受力,
在垂直于x轴的平面上产生电荷
Q与作用力Fx成正比,且与晶片
几何尺寸无关。
;②横向效应
对石英晶体y0°切割,截得压电元件两端面与y轴相垂直,当沿y轴方向受力,在垂直于x轴的平面上产生电何Q与作用力Fy成正比,且与晶片尺寸无关;二、压电材料及压电元件的结构
(一)对压电材料的要求
①具有较大压电常数
②机械强度高、刚度大,固有频率高
③高电阻率,大介电常数
④高居里点(压电性能破坏时的温度转变点)
⑤压电特性不随时间蜕变,时间稳定性要好;(二)常见压电材料简介
1.石英晶体
天然
人造——利用天然原料高温融合,再按要求切割成形
优点:如前述
缺点:灵敏度低,介电常数小
; 2.压电陶瓷
烧制方便、耐湿、耐高温、易于成型,应用最普遍。
①钛酸钡压电陶瓷BaTiO3
②锆钛酸铅系压电陶瓷
③铌酸盐系压电陶瓷
④铌镁酸铅压电陶瓷; 3.水溶性压电晶体
4.铌酸锂晶体
5.压电半导体
6.高分子压电材料
压电薄膜,柔软、不易破碎,可以大量生产和制成较大面积。;(三)压电元件的常用结构形式
1.并联
输出电容C′= nC 输出电压U′= U
输出电荷Q′= nQ
时间常数大,适用于测量缓慢信号,并 以电荷量作为输出的场合。; 2.串联
输出电容C′= C/n 输出电压U′= nU
输出电荷Q′= Q
适用于以电压作为输出量以及测量电路输入阻抗很高的场合。
(四)预应力
压电元件上应施加预应力,保证压电片始终受力,使输出与作用力之间为线性关系。
;三、压电式传感器的测量电路
压电式传感器的内阻抗很高,输出信号微弱,一般不能直接显示和记录,压电式传感器要求后续测量电路要有足够高的输入阻抗。;1.电压放大器
图中 Ca——串联型压电元件等效电容
ua——串联型压电元件等效电压
Cc——电缆等效电容,Ci——输入电容 ; 等效电路 C=Cc+Ci
压电传感器受力 F=Fmsinωt
;当ωR(Ci+Cc+Ca)1时:;2.电荷放大器
电荷输入,电压输出。如忽略电阻Ra、 Ri和Rf的影响,则
Qi=Q-Qf
当A足够大,
Ui≈0
Qi≈0
故:Qf=Q
U0=-Ucf
=-Q/Cf
;电荷放大器的灵敏度:
K=U0/Q=-1/Cf
说明:
①电荷放大器的输出电压与压电传感器产生的电荷量Q成正比,与放大器的反馈电容Cf成反比;
②只要放大器的放大倍数A足够大,电缆电容、输入电容等对输出的影响可以忽略;
③Cf两端并联反馈电阻,形成直流反馈,以稳定放大器的直流工作点。;四、压电式传感的应用
可用于测量力、压力、振动的加速度,也可用于声学和声发射等测量。;一、压电式测力传感器:
单向力传感器:
如图6—12所示:两片压电晶片沿电轴方
向叠在一起,采用并联接法,中间为片
形电极(负极),它收集负电荷。底座
与传力盖形成正极,绝缘套使正、负极
隔离。
;二.测量汽缸中燃烧的爆发力
将石英力传感器紧固在汽缸盖的紧固螺栓中,相当
于
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