晶体生长科学与技术35-6课.pptVIP

升华法 升华法 化学气相沉积法 CVD系统 化学气相沉积法 化学气相沉积法 应用举例 磁控溅射镀膜法 磁控溅射镀膜法 分子束外延法 分子束外延法 分子束外延法 分子束外延法 脉冲激光沉积法 物理气相输运法 真空技术 真空基本概念 真空的基本特点 在真空中，气体分子密度低，在某些情况下，真空可以近似地看作没有气体“污染”的空间。真空中，气体分子或带电粒子的平均自由程随气体分子的减少而增大： 因此，真空中分子之间碰撞频率很低，分子与固体表面碰撞的频率极低。单位面积上气体分子碰撞频率ν与压强p的关系为： 所以，在普通高真空，例如10-6 Torr时，对于室温下的氮气，ν=4.4×1014分子/cm2 ?S，如果每次碰撞均被表面吸附，按每平方厘米单分子层可吸附5×1014分子个分子计算，一个“干净”的表面只要一秒多钟就被覆盖满了；而在超高真空10-9 Torr 或10-11 Torr 时，由同样的估计可知“干净”表面吸附单分子层的时间将达几小时到几十小时之久。 真空度的划分 真空度的划分 真空的获得 真空测量 真空测量 真空测量 晶体生长科学与技术 总结 总结 晶体中的缺陷 刃型位错和螺型位错的异同点 晶体中缺陷的表征 光学显微镜的局限性 透射电镜的优点 电镜实际分辨本领限制 薄晶体样品的制备 纳米颗粒样品的制备 截面样品的制备 透射电镜成像方式 缺陷衬度的产生 衍射衬度：是 由于晶体薄膜内 各部分满足衍射 条件的程度不同 而形成的衬度 X-射线 X射线物理基础 X射线的性质 确定衍射方向的几种方法 Bragg方程 1895年德国物理学家---“伦琴”发现X射线； 在X射线发现后几个月医生就用它来为病人服务； 1895-1897年伦琴搞清楚了X射线的产生、传播、穿透力等大部分性质； 1901年伦琴获诺贝尔奖； 1912年劳埃进行了晶体 的X射线衍射实验； X射线是高速运动的粒子与物质相撞击后猝然减速，且与该物质中内层电子相互作用而产生的； X射线能使气体电离，使照相底片感光，能穿过不透明的物体，还能使荧光物质发出荧光； X射线呈直线传播，在电场和磁场中不发生偏转，当穿过物体时仅部分被散射； X射线对动物有机体（其中包括对人体）能产生巨大的生理上的影响，能杀伤生物细胞； X射线也是电磁波的一种，波长范围在10-8cm左右； Laue方程 Bragg方程 (常用) Ewald作图法 晶体缺陷的形成； 晶体缺陷的分类； 热缺陷及其热力学； 实际晶体中存在的缺陷； 热缺陷的平衡热力学； 非本征缺陷； 伴随电子、空穴的点缺陷； 缺陷的符号表示 完美晶体（Perfect Crystals）： 晶体中原子的有序排列在三维空间无限延伸并且具有严格的周期性循环； 但实际晶体的结构往往偏离完美晶体的结构： ㈠由于热力学原因，原子会离开它自身原本应在的格点； ㈡由于堆垛的原因，不同的原子错占对方原子的位置； ㈢化学过程引入杂质原子； 晶体结构缺陷：与理想的晶体结构对比而言，晶体中质点不按严格的点阵排列，偏离了理想结构的规律周期排列； 这些不完美性都称作晶体中的缺陷（Defects），这种晶体称作缺陷晶体（Crystals with defects）； 晶体中缺陷的存在，一方面会大大影响材料的物理性质，需要克服缺陷；另一方面，正是由于缺陷的存在，获得了具有这样或那样功能的材料； 因此，了解晶体的缺陷对我们更好的理解晶体生长过程具有重要的理论和实际意义； 晶体的缺陷 晶体中的缺陷可以分为以下几种： ⑴零维缺陷，也叫点缺陷（point defects），是由于各种原因使晶体内部质点有规则的周期性排列遭到破坏，引起质点间势场畸变，产生晶体结构不完整性，但其尺度仅仅局限在1个或若干个原子级大小的范围内； 它包括：①空位：vacancy；②间隙原子：interstitial atoms；③杂质原子：impurity；④替代原子：substitutional atoms；我们将上述缺陷①、②这类主要产生于晶体本身结构的缺陷，称作本征缺陷（Intrinsic defects）或结构缺陷（Structural defects）；而将③、④这种主要由于外来原子进入晶体所造成的缺陷叫作杂质缺陷（Impurity defects），又称非本征缺陷（Extrinsic defects）； ⑤缔合中心：除了单一缺陷，一种或多种晶格缺陷可能会相互缔合成一组或一群。通常把发生缔合的缺陷放在括号内来表示，它也是一种零维本征缺陷（Intrinsic defects）； 例如在NaCl晶体中，最邻近的钠空位和氯空位就可能缔合成空位对，形成缔合中心，反应式为：