32气体管路-国家试验研究院.DOC

財團法人國家實驗研究院 國家奈米元件實驗室 新購設備機台之通用版－廠務系統二次配管工程規範 修訂第四版98/09/01 目錄 頁次 一、 工程標的 1 二、 廠務各系統規格 1 1. 廢氣系統 1 2. 一般氣體 1 3. 製程冷卻水 2 4. 電力系統 2 5. 純水系統 3 6. 廢水系統 3 7. 特殊氣體 3 8. 空調系統 4 9. 化學品中央供應系統 5 10. 氣瓶櫃 5 三、 適用之標準與法規 5 四、 廠務各系統之工程規範 5 1. 廢氣處理設備及管路配接 5 2. 一般及特殊氣體之管路配接 7 3. 製程冷卻水管路配接 15 4. 電力管線配接 17 5. 純水管路配接 19 6. 廢水管路配接 19 7. 毒氣偵測器增設與系統配接 20 8. 氣瓶櫃安裝 22 五、 驗收標準 25 六、 保固 30 工程標的 本規範適用於國家奈米元件實驗室奈米大樓新進機台，廠務相關供應系統之水、電、氣等配接工程規範及相關可提供系統規格概述，請承包商先至現場進行勘查並與各系統負責人員洽詢確認，並於每日施作後進行現場清潔，日後如有任何疑慮依業主解釋為準。 廠務各系統規格 就奈米電子大樓廠務各系統之規格說明如下，請承包商就以下廠務可提供新進機台需求之規格，進行詳細評估並與各系統負責人進行討論。 廢氣系統 區域 廢氣種類 提供之管路負壓和配管材質及後續處理方式 C/R 100