放电等离子体极紫外光源中的主脉冲电源.PDF

电子发烧友 电子技术论坛 第 卷第 期 强 激 光 与 粒 子 束 ， ２２ ２ Ｖｏｌ．２２ Ｎｏ．２ 　 　 年 月 ， ２０１０ ２ ＨＩＧＨＰＯＷＥＲＬＡＳＥＲＡＮＤＰＡＲＴＩＣＬＥＢＥＡＭＳ Ｆｅｂ．２０１０ 　 　 文章编号： （ ） １００１４３２２２０１００２０３８８０５ 　 放电等离子体极紫外光源中的主脉冲电源 １ １ １ ２ ２ ３ 吕 鹏 ， 刘春芳 ， 张潮海 ， 赵永蓬 ， 王 骐 ， 贾 兴 　 　 　 　 　 　 　 　 （ 哈尔滨工业大学电气工程系，哈尔滨 ； 哈尔滨工业大学可调谐激光技术国家级重点实验室， １． １５０００１ ２． 　 哈尔滨 ； 中国工程物理研究院流体物理研究所，四川绵阳 ） １５０００１ ３． ６２１０００ 　 摘 要： 描述了 箍缩放电等离子体极紫外光源系统中的主脉冲电源，给出了主电路拓扑结构，重点介 Ｚ 　　 　 　 绍了三级磁脉冲压缩网络，给出了关键参数的设计计算，并且介绍了新颖的末级磁脉冲压缩放电结构。实验结 果显示：各级磁脉冲压缩效果达到设计指标，电源输出电压峰达３０ｋＶ，输出电流峰值大于 ４０ｋＡ，电流脉冲宽 度 ，满足 箍缩放电等离子极紫外光源对主脉冲的要求。 ２００ｎｓ Ｚ 关键词： 箍缩； 放电等离子体； 极紫外光源； 主脉冲； 磁脉冲压缩 Ｚ 　　 　 　 　 　 　 中图分类号： 文献标志码： ： ／ ＴＮ２４ Ａ 犱狅犻１０．３７８８ＨＰＬＰ０３８８ 　　 　 　　　　 　 　　 极紫外（ ）光刻技术一直被认为是光学光刻技术之后最有前途的光刻技术之一，国际上对 光刻 ＥＵＶ ＥＵＶ 　　 ［ ］ 技术已开展了广泛的研究 １４ 。在 光刻技术中， 光源是其面临的首要技术难题。实现 光刻光 ＥＵＶ ＥＵＶ ＥＵＶ 源的方案主要有 种：已建立的同步辐射源；激光等离子体（ ） 光源；放电等离子体（ ） 光源。