7 无尘室运转及维护管理.docVIP

無塵室運轉與維護管理 污染源控制 潔淨室潔淨度之維持和控制，除了硬體設備之配合投資外，也需要良好的軟體一一管理制度來搭配，方能維持良好的潔淨度。潔淨室內之微污染來源，經測試分析結果，作業人員佔約80%，如圖1所示。實驗數據顯示，作業人員進出潔淨室時塵埃有顯著的增加，有人動作時，潔淨度馬上劣化，可見潔淨度劣化之原因，人是主要因素。 潔淨室的污染源可分外污染及內污染源。外污染源包括了空調送風、間隙滲入、建築物、工作服、風管材料以及一般性氣體如N2、O2、Air、給水、溶劑等；而內污染源則包括了製程設備、工作人員、工具、加工製程、隔間材、工作桌、包裝材等，圖2為微塵粒子的傳送路徑。 對矽晶片而言，微塵粒子之附著，將造成積體電路線路的變形或短路，使晶片失去運作功能，因此微污染控制己成為潔淨室管理的重要環節。表1為在自然環境所測得的塵埃濃度，可為設計參考。而在微污染控制，其基本原則有四： 外部塵埃侵入之防止： 潔淨室適當之正壓保持（0.5mmAq），做好施工工程之不漏氣，人員設 備、原物料搬入潔淨室前先做清潔擦拭等防塵動作，空氣過濾器適當的管理和設置。 室內發塵之防止： 隔間隔、地板等潔淨室材料的適當選用、製程設備的發塵抑制、 生產自動化及人員不聚集、動作放輕、潔淨衣的管理、使用潔淨室專 用器等。 室內發塵之不積留： 牆壁體應光滑無死角、潔淨室須定期保養和清掃、製程設備四週 應留空間。 發生塵埃之排除： 換氣次數須足夠，適當的空間佈置以及污染源直接排氣和空調的 氣流速度須適當。 以上之四點正是人、物入室的管理問題、實際的作業條件和工程管理關 連之問題、室內之空調及清掃關係之問題，這些問題將於下節詳述。 圖2　以空氣當介質的微塵粒子傳送途徑 表1自然界微塵粒子數 測　量　地　點 微塵粒子數（個/ft3）≧0.5μm 大氣層圈 ≦100 田園地區（微風狀況） 100,000～300,000 住宅地區 100,000～200,000 辦公室（工作中） 200,000～400,000 工業區 400,000～1,000,000 正在吸煙的會議室 600,000～1,000,000 潔淨室運轉管理 潔淨室運轉管理，可依作業人員、原物料、設備及潔淨室內所用東西等加以探討，並依計劃（Planning）、實施（Doing）、 追蹤（Checking）、動作（Action）之PDCA循環步驟執行。 作業人員之管理 前己提及在潔淨室內污染來源80%來自作業人員，因此若能使作業人員依潔淨室管理辦法確實執行管理，而所有人員也均能配合實施，則污染源的產生可說已減少大半。現就進入潔淨室的作業人員之管理和注意事項說明於下： 進入潔淨室之人員，必須要具備有達成高潔淨度標準，並要維持最好狀態之觀念。 作業人員進入潔淨室數目以維持最小限度為原則（愈少愈好），並須依潔淨室進出標準流程進出潔淨室，如圖3所示。出則相反方向進行，唯不須經空氣洗塵室之脫塵處理。 對作業人員必須經常講解潔淨室管理之資料，並加以教育與訓練，內容如潔淨室管理之一般常識、潔淨室之構造與功能、維護和清潔、安全對策、搬運器材之潔淨管理與檢查、潔淨衣之穿脫、潔淨室內之步行方式等，並經考試合格者方能進入潔淨室工作。 在潔淨室作業人員須經常保持自己各方面的乾淨與清潔。 在潔淨室內之作業人員或其他人員之移動或動作均為發塵源，其直接響製程，同時亦會影響氣流之擾動，為防止與控制上述情形，基本上須注下列事項： 不可在作業區域氣流之上方放置物品或做其他作業。 不必要之動作盡量避免以防止亂流及發塵。 與作業無關的私心談話儘量避免。 為控制發塵量，人員步行及作業要靜靜地進行。表2所示為人體在不同動作時之發塵量。 作業要在潔淨之工作檯或工作桌進行。 工具等器具須收入有蓋子之箱子或櫃中，並置放一定的場所。 作業人員須經常保持乾淨之手，除了常洗手、剪指甲外，手並應保養，以預防皮膚之剝離，男性須每天刮鬍子。 潔淨衣要經常保持著衣之狀態。 下列所述者不能進入潔淨室： 非作業人員或事先未得許可者。 未照規定穿著潔淨衣者。 剛做激烈運動流汗者。 吸煙或吃東西後，尚未經過半小時以上者。圖4為吸煙和未吸煙者微塵產生量與時間之比較圖，由圖上很明顯可看出吸煙者所生之微塵在初期約為非吸煙者的90倍，直至30分鐘後才降至約15倍，此為為何潔淨室禁止吸煙人員和吸煙未滿30分鐘不准進入的原因所在。故針對在潔淨室作業人員之招募，若能選擇不吸煙者為對象，將可帶來甚大利益。 圖3　潔淨室人員進出流程 表2　人體不同動作之微塵產生數 ≧0.3μ ≧0.5μ 一般工作服 無塵服 普通作業衣 無塵服 白衣形 全覆形 白衣形 全覆形 站立（靜姿）