无尘室内异物管理基本原则摘要.pptVIP

無塵室內異物管理基本原則 不帶入 不把外面的塵埃帶入無塵室內 不殘留 無塵室內因狀況而產生之塵埃，不可殘 留無塵室內 不產生 人員和物品，設備在無塵室內不可因不當之 動作而產生塵埃 無塵環境等級 與異物數量之關聯性 英制單位：為每立方英呎0.5μm以上粒子數 SI制單位：為每立方公尺0.5μm以上粒子數取其對數 CLASS 100相當於SI制M3.5 無塵環境設計與施工概念 層流式無塵環境 層流是指空氣由上方天花板完全吹出再由高架地板回風，氣流由上而下，無塵室內沒有死角，能將塵埃在最短時間帶走 亂流式無塵環境 由局部出風口吹入潔淨之空氣，再由回風管(柱)或回風牆回風 無塵環境設計與施工概念 垂直層流式無塵環境 無塵環境設計與施工概念 水平層流式無塵環境 無塵環境設計與施工概念 層流式無塵環境優缺點 優點：效果完全 若在作業狀況中影響較小，運轉後迅速 可達到所需之落塵控制量，管理容易 缺點：設備費用高(維護費用高) 換過濾網校麻煩 適用於 Class 1,10,100 無塵環境設計與施工