毒化物制程危害评价方法-南区环境事故专业技术小组.PPT

生命週期評估之結構(3/3) 生產設備改進(2/6) (2) 其他設備改善方法，如檢查是否可延長零件更換時間，清洗噴射孔口、更換彈簧、重覆使用。修改氫氣點火炬，加裝通氫氣之噴射嘴，汰換不斷電系統之內部電池，使用長型汞燈，改用耐久之零附件，可節省原物料之購置費用，減少設備維修成本、更換次數，減少報廢之設備，以增加產能、減低工作負擔、減少廢棄物處理費用。 生產設備改進(4/6) (5) 加強設備維修，如加裝酸氣偵測儀與化學過濾器。利用自動連線，以自動檢查機台與配方，分析缺陷原因，可以減少腐蝕、破損而報廢之晶片 (6) 以乾式泵取代油壓泵，可減少潤滑油之使用量節省濾油器及減少維修時間。 (7) 減少化學桶藥品殘存量：如加長佔附管長度，使用較大容量之包裝容器，以充分使用原物料。 最佳化操作條件(2/2) (4)改進機械控制軟體：例如促進去光阻槽的效能，可提昇產品進送速率、降低化學品（硫酸）使用量與生產成本。 (5)改進逆滲透膜效率，可以減少清洗用水量。 (6)設計最佳工作流程及機台位置，可以減少傳遞時間，促進產能。 改進操作管理(3/9) e.下班時間，辦公大樓用電/照明改由警衛室之中央監控管理、關閉部份電腦機台機及其他耗電設備，可增加設備使用壽命、節省電能。 f.設定空調溫度及定時關閉，檢討製程空氣排放量可以節省用於清淨室之清潔與空調能源。 改進操作管理(5/9) (3)調整操作步驟： a.改變配方的選擇比：例如將非連續式製程改為 連續式，簡化配方，調整個設備的清潔或測試週期，集中處理相同清洗程式的產品，簡化需分多道程序完成的工作，可縮短循環時間、節省單一程序所需使用的原料量。 改進操作管理(7/9) d.晶片在磊晶（epitaxy）後立刻進行真空包裝（vacuum pack ） ，可以免除氧化前的清洗程序、減少使用化學藥物。 e.原物料減少研磨液的使用量：降低研磨液的流量，可減少使用化學物品。 f.原物料的盛裝桶，改用較大容量的容器，並儲存循環再利用，可減少儲運成本及盛裝桶的使用量。 製成排洩口之洩漏控制(2/3) 製成排洩口之洩漏控制(3/3) SARA TitleⅢ管制計畫量指數由美國環保署所發展，用來決定在(Superfund Amendments and Reauthorization Act SARA ,Title III )法案規定之內的極端危害物質和限制量。 物質危害指數（Substance Hazard Index , SHI ) 由OSHA 之事業單位資源委員會（ORC）在其制定之製程安全管理法案（PSM ) 的建議中所提出，為一種評定物質危害等級的方法。定義為”物質於20℃他時的平衡蒸氣濃度（EVC ）除以一立即毒性濃度”。 物質危害指數（Material Hazard Index , MHI ) 為美國加州所採用，以決定立即危害性物質的管制量，做為風險管理及預防計畫之用，定義為”物質於25℃時之蒸氣壓除以一關切等級（Level of Concern ) ”。關切等級可以用毒性、火災、爆炸或其他可經由空氣傳播的危害為基礎來定義。 相對危害等級評估方法摘要(2/2) 總危害性指標（Hazard Index , MHI ) 以製造過程中各種化學物質的單位用量乘以危害因子之總和來表達。而危害因子定義為25℃時蒸氣壓(即逸洩的驅動力）除以毒性濃度（即容許暴露濃度，PEL 或TLV )。 化學曝露指數（Chemical Exposure Index , CEI ) 由Dow 化學公司所發展，在CEI 考慮5 種會影響物質外洩後果的因子：( l )立即毒性，( 2 )可能洩漏物質的揮發部份，( 3 )至所關切區域的距離，( 4 )物質的分子量，( 5 )不同之製程參數，如溫度、壓力、反應性等等。每個因子均定義為幾個等級數，CEI即是每個因子所給定的等級數之乘積 VCM製程中化學品特性摘要 (1/2) VCM製程中化學品特性摘要 (1/2) 附錄一 毒化物意外洩漏影響分析 附錄一 毒化物意外洩漏影響分析 氣體／蒸氣外洩評估(1/2) 氣體／蒸氣外洩評估 氣體與蒸氣外洩至空氣中的物質量（AQ）計算方法 公制單位： AQ=4.751×10-6D2PA {kg/sec} Pa：絕對壓力＝（Pg+101.35） Pg：錶壓力（kPa gauge） MW：分子量 T：溫度（℃ ) D：洩漏口大小/直徑（mm） 氣體／蒸氣外洩評估(2/2) 英制單位： AQ=3.751D2PA {1b/min} Pa ：絕對壓力二（Pg 十14 . 7 ) Pg ：錶壓力（Psig ) MW：分子量 T：溫度（