电阻应变式压力传感器的电测公式.PDF

, 滩 东 北 工 学 院 学 报 总第 期 ! ∀ 沁 压 的 电阻应变式 力传感器 电测 式 公 日 李 博 李念奎 徐成发 弟 朱 辉 东北工学院 沈阳晶体管二厂 应 学 论和 电 理论 从 电阻公式 发 导 了一般, , 电 摘要 用弹性力 理 测 出 出 箔式 阻应 变 片 ’ 阻的 与 面 分 的 , 到 式 器的 公式 电 变化率 弹性元件表 应变 布 关系 寻 电阻应变 压力传感 电测 , 。 。 验证公式 量 围 尸 的 式 器 为 设计并制造了测 范 在 一 卯 电阻应变 压力传感 对其 , 况 电压的测量 结 与 公式计 的 合 很 , 差 在加载情 下进行输出 果 术 算 结果符 得 好 误 呱 词 器, , 丝 , 公 关键 传感 应变片 敏感 栅 电侧 式 引 言 圆形 桥 应 作 压力 , 测 , 能 全 箔式电阻 变片 为敏感元件的膜式 传感器 由于其 量精 高 性 稳 度 、 、 、 , 成 点 已, 用于机 制 工 测 定 本低廉等优 被广泛应 械 造 石油化 航空 医疗等领域 随着它 , 必 一 谨 系 测公 迢 〔” 此 出 量精度的提高 须有 个较严 的灵敏