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29 4 Vol1 29 No14
2008 4 Chinese JournalofScientific Instrument Apr. 2008
g *
1, 2 2 2 1
李世维 , 王群书 , 古仁红 , 刘君华
( 1 710049;
2 710024)
: g g
g,
, g g
: ; g; ;
: TP212 : A : 460. 4020
Situation and trend of high-g m icromachined accelerometer
1, 2 2 2 1
LiShwi ei , Wang Qunshu, Gu enhong , Liu Junhua
(1 School of E lectricialEng ineering, X ican Jiaotong University, X ican 710049, Ch ina;
2 N orth est Institute of N uclear Technology, X ican 710024, China)
Abstract:This paper provides a perspective review on the development of high g accelerometers, particularly them-i
cromachined ones, applied in themeasurement of earth-penetratorweapons and explosive field. Some typicalhigh gp-i
ezoresistive and capacitivem icromachined accelerometers are described, including their physical principles, perform-
ance requirements and structures of the sensing elements. Several new m aterials used in the sensing elements of m-i
cromachined accelerometers and their processing methods are discussed. Their future developments are envisioned.
Key words: accelerometer; high-g; explosion and mi pact; m icromachined
g ,
1 ,
g
g(g)
, 2 g
, g
[ 1-2]
, g
g , ,
3
[ 3]
, g ,
: 2007-04 eceived Date: 200
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