光波导短程透镜加工容限误差研究.PDFVIP

物理学报 Acta Phys. Sin. Vol. 61, No. 24 (2012) 244208 光波导短程透镜加工容限误差研究* 李杰 朱京平 ( 电子物理与器件教育部重点实验室, 陕西省信息光子技术重点实验室, 电信学院, 西安交通大学, 西安 710049 ) ( 2012 年4 月8 日收到; 2012 年7 月4 日收到修改稿) 本文利用数值计算的方法, 研究比较了目前常用的四种解析解设计的短程透镜凹坑深度方向加工误差对其聚 焦效果的影响, 得到了该方向加工误差与其焦距改变量之间的定量关系. 结果表明: 这四种解析解设计的短程透镜 凹坑深度相对加工误差∆ 与焦距的相对改变量∆ 的比值为一常数. 根据这一关系给出了几种典型集成光 学器件中短程透镜的加工容限误差. 上述研究可为高分辨率光学器件的设计、制作提供理论支持和指导. 关键词: 集成光学, 短程透镜, 数值计算, 加工容