X射线双晶衍射技术的发展及应用 - 大学物理.PDF

维普资讯 第20卷第7期 2001年7月 大 学 物 理 V01．20 No．7 CoLLEGE PHYSICS July．2001 X射线双晶衍射技术的发展及应用 王 浩，廖常俊，范广涵 (华南师范大学 量子电子学研究所，广东 广州 510631) 擅耍：简要介绍了x射线双晶衍射技术的原理；描述了双晶衍射技术的发展与演化．文中简要讲述了多晶衍射 技术的应用范围及应用多晶衍射仪所能做的工作． 关t词：双晶衍射；回摆曲线；倒易空间图；反射率曲线 中圈分类号：TG 115．23 文献标识码：A 1 前言 20世纪 50年代中期以来，由于半导体、激光、红 外、磁泡等科学技术的兴起，高质量的近完整晶体能被 大量地制备．以半导体超晶格、量子阱、量子线、量子点 为典型代表的低维半导体结构自 1969年提出超晶格 概念以来，经历了20多年的发展，已成为凝聚态物理 最活跃的新增长点和最富有生命力的重要前沿领域之 一 ． 而晶体的生长质量、完美程度将决定晶体的性质． 因此在进行以上的研究时，探测近完整晶体的缺陷，进 而控制和提高晶体生长和加工质量的实验方法，例如 x射线貌相术，金相腐蚀坑法，偏光、干涉显微镜法。红 外缀饰法，扫描及透视显微镜方法等也随之发展起来． 以上的种种方法之中，X射线貌相术具有不损伤 样品、无污染、快捷、测量精度高、能得到有关晶体完整 性的大量信息等优点，因而成为研究近完整晶体中缺 陷的一种很有效的手段．尤其是对使用各种外延方法 得到的近完整晶体，采用 X射线貌相术的双晶衍射方 法进行分析、测试，可以获得外延层的晶体学数据。外 延层的成分、质量以及与衬底间界面的状况。晶片的弯 曲状态等等的数据或信息．更由于 X射线测量的完全 非破坏性，使得 x射线衍射方法成为必要的和不可替 代的手段． 2 基本原理 固体物质大体上分为两类：晶体和非晶体．两者的 基本区别就在于它们的内部结构是否具有规律性．X 收稿日期：2000一O5—24 作者筒介：王浩(1974一 )，男，内蒙古赤峰人，华南师范大学量子电子学研究所助教，硕士。主要从事半导体物理方面的科研工作 维普资讯 第7期 王 浩等：X射线双晶衍射技术的发展及应用 31 数倍。即 研究、检测这些晶体材料的完整性．现在，双晶 X射线 ， =2dsin 衍射技术已成为近代光电子材料及器件研制的必备测 该式即为布拉格衍射方程，式中 n为几何数，数值上等 量仪器．以双晶衍射技术为基础而发展起来的四晶及 于相邻晶面的光程差(波长)；d为晶体的衍射面间距。 五晶衍射技术，已成为近代 X射线衍射技术取得突出 亦即晶格常量； 为布拉格角，即人射线与衍射面的夹 成就的标志． 角 ． 我们知道，布拉格定律的表达式为： 由于每种晶体的晶格常量各不相同，由此我们可 2dsin =nA 以用来检测不同晶体，目前应用广泛的粉末衍射仪就 当X射线的波长不变时，通过对上式进行微分，可以得 是基于此理论工作的．普通X射线管发出的X射线。其 到下式： 波长是连续的，也叫白色 X射线．如图2所示． Adsin +dcos ·△ =0 △ = 一