单晶硅电容式低频传声器的设计和制作11269.pdfVIP

本文由电话里的哭泣贡献 pdf文档可能在WAP端浏览体验不佳。建议您优先选择TXT，或下载源文件到本机 查看。 第 ! !? 卷第 年 月 期 声 # 学 技 术 / + ) 、 , 0 + , 1. 3 、 % ?? ( )? ?+ , ? . ? ? ? ,2 , ! !? 单 晶硅 电容式 低 频传声 器 的设计 和 制作 何庆 摘 要 , 索智群 , , 乔 东海 , 4 中 国 科学 院声学 研 究所 , 声 学微机 电实验 室 北京 , 5!! 5? ! 6 。 本 文提 出 了 一 种新型 低 频 电 容传 声器 的结 构 并 具 体阐 述 了 其 理 论 建模及 制作 工 艺 该电 容 式低频 传 声 器 采用 各 向 , 、 异性 体刻 蚀 单晶硅 作 为振动 膜 具 有低 频 灵敏 度高 频率 响 应 平 坦 的特 点 通 过声 电等效 电路 建 模 对 该 传声 器 性 能进行 了 理 论 分析 , page 1 。 , 并根据 理 论 分 析结 果对 传 声器 结构 进行设计 和 优化 测试 结 果和理 论 计算 的符合程 度很 好 总之 采用该 结 构 的 、 。 。 , 低频 电 容式传 声器 制备 简便 性 能优异 , 可 在 低频声 学 领 域 中得到 广泛 应 用 。 关键词 电 容式 传声 器 ( , 微机 电系统 , 单晶硅 振 动 膜 + + 7 ? ?2 8 9 ( : ; ? ( . ? ?. % ( = ( + ? 9; ?? , 一 一 ?Α Β + 8 ? 2 %(? 一 , ; Χ ? ; + 1% + ? Δ ? 2 )? Β ; Α ? .( ) Δ?) + 7 ?( 1% ; ( 2 Ε ? Φ Γ Η ? 2 Δ Ι ? , Κ %? ? , 一 , Η Λ? ? ? 7 + 九 ( 4 花 凡心 ) :+ ; ( )+ 尽 = + + =% ? 加? . ?细. page 2 = +月 + ,?. ? 毖 , % Β? ? 口8 ? ? ? = 娜+ ? ? ? Μ ?女 ? , 2 5 ! ! 5夕 6 ! (; 8 , ( ? 8 ?. ? .% ? + ;? . ? ( ) Ε + : ? .; ( ? . , Λ . %?? 1叩? ; ( ?? Ι ; . ? . ;? , = )+ ? #%? ( 一 ;, = ? 一 ? Α + 8 ?? ; Ε ?? ;+ 1%+ Ε + ? ; + Λ ? Ν 5 1, . = + ; ( ; 8? ) ( 8 ) ( ? = :; ( . ?+ 1;+ ? ? ?? . ?? + (; ? 8 , ??? 8 ( 8? . ( ( ) 3 + ) ; = ; = page 3 , ? ?Α + 8 ?? ; ? , 1%+ ?