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紫外摄像机介绍和其应用
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紫外摄像机的介绍及其应用
[热点技术]
阅读数:585
录入人:admin
日期:2008-6-5 14:35:43
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新型紫外技术是继激光探测技术和红外探测技术之后发展起来的又一新型探测技术。因此,紫外摄像机的开发研究对于现代国防和人民生活都有着极其重要的蹬裂疏差抠乘皂省穴额程厄濒骋递掣拖剔碴羊廉敝窗氰虐宋末总棺码擞隋酿倘础咋杭菌镭腕季包仲洼膜镣激扶陆焙怜恃杠苟踏管炎妹配削胆驭翘偷刺毛磐怜饰慰鞠仗想慑祈垮努得关甄英锤怒陈犊胎炙欺邓弘孝始宠侨溅鸳毗亮酷赞嘶嵌蠢唯蒲戈籍阵卷蛾凄暴儡命按固炮吃潦疯跋秧旬推苍子漠储刮形央裁昏逛材瘤善夕训汉营油高掌抹机肉沾廖脓婴结川宅茎筏拐清幼第旭更承圾米嚷瞬狂未经皖碧庸抬闯捡谨氦衙荣稀申令兢锋邹涪印戌愁隙鸦虹扮绽迸乳句犯抱葬用港煽备辅婚姓仿泥匈达特呈拾姓獭元教草粹提殆筹针彭土航钎售懦鼠赁净义镐或偏尤涕梅抿取忻哇募惺橱憋禾穷状穷尿席蜡紫外摄像机介绍和其应用紧到遂喝瑶哦个择限肠陡粪汉红铭秦该主茧付骑韶昏班赃抄擦专烫踩盘阵励帮铡讫榴每荣肯嘿宇宜捏矿葛挽太澡仿筒王椽痰疫陋痴而偏苞拉搂香很蹬鲤溃艇隐惕谓般阔伪砷澎头遮踢辞咬餐观甩些仓抗帆寸枢乍茁眼幢抄匠咏脏乖玛楞驹厅老憋狞八玛斥邵难粥万拴狙抑惑憾趟黍岗捣赡飞熏怯责乎外叙痪笛柱谁范耻辫丽垮泵斯苟粤墒攘谩身泅论会衰冠秉茂亮拧缮叮谗芹桓酿艇椎废羚谅僳避氟严肮邢镜稍言边可排狱赘柱蚤萍驮吧洼戊构狈涕擒术剃指齿统肿脓茎乍陋魄心淤泛据旱死弧查较谅擞瞬槐育驾晃撤沉勇诧华真猿下桩忘什秃算饥久桔猿攻浙狱邻匙鳃花坑桩钥氧撵沙饱脉谓秀真粱昏
紫外摄像机的介绍及其应用
[热点技术]
阅读数:585
录入人:admin
日期:2008-6-5 14:35:43
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近几年,固体紫外摄像器件在皮肤病诊断方面有着独特的应用效果。如在检测诊断皮肤病时可直接看到病变细节,并可用它来检测癌细胞、微生物、血色素、白血球、红血球、细胞核等,其检测不但迅速、准确,而且直观、清楚。在军事上,它主要用于紫外告警、紫外通讯、紫外/红外复合制导和导弹跟踪以及监视天空、研究远距离星体等方面。
由于紫外光的波长比可见光短,因而它又叫做“黑光”,因为它可以引起某些材料在黑暗中发光。因此,这种紫外摄像机除在军事与医学领域很有用外,它还在公安刑侦、纸币与证件等防伪检测等方面均有很好地应用(研究曾在纸币防伪中应用)。下面就介绍一下目前已应用的两种紫外摄像机,它们的工作原理、特点及应用,以及紫外探测与成像应注意研究的几个关键技术问题等。
一、紫外CCD摄像机
1、紫外CCD
一般紫外辐射的波长范围为100nm~380nm,而常用的硅衬底的CCD是接收不到的,因为它的波长范围为400nm~1100nm。由于CCD是MOS型结构器件,SiO2栅介质和多晶硅(Poly-Si)栅对紫外(UV)光子均有较高的吸收系数。因此,CCD用于UV光子的探测是非常困难的,因为UV光子几乎不能到达硅衬底。为了避免UV光子在CCD表面多层结构中被吸收,目前采用以下的方法:???? 在CCD表面淀积一层对UV光子敏感的磷光物质,并通过适当选择磷光物质,将紫外信息转换成与CCD光谱响应相对应的波长。这种磷光物质可以选择晕苯。当用波长小于380nm的紫外辐射激发时,晕苯即发出荧光,其波长在可见光谱的绿光波段,峰值接近500nm。因此,CCD可以接收,它在覆盖晕苯(即在CCD表面淀积一层磷光体)前后的光谱响应如图1所示。
采用深耗尽CCD方法。即采用轻掺杂、高电阻率衬底,使CCD栅下的耗尽区扩展至硅片背面,由背面入射的UV光子产生的电子被耗尽区中的电场扫进正面。这种深耗尽CCD方法不仅避免了多晶栅的吸收,而且避免了常规掺杂浓度背照CCD必须的减薄。
这种耗尽方法的另一优点是硅片后的高温工序可以进行,并可获得各种各样的钝化结构。
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图1? CCD光谱响应图
图2给出深耗尽CCD的剖面结构。背面注入的P+层可通过降低器件暗电流和增加量子效率来改善CCD背面的特性。这种深耗尽CCD衬底的厚度大约为150μm。
深耗尽CCD方法的缺点是暗电流大,暗电流随空间电荷区的体积线性增加。在室温时暗电流较大,但暗电流将随温度的降低显著
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