计算机控制光学表面成型技术ccos.docx

计算机控制光学表面成型技术综述摘要:介绍了计算机控制光学表面成型技术的原理基础,目前的进展及其将来的趋势。主要介绍美国、法国、俄罗斯的科学家在这项技术上的成果,也简单介绍了我国在这一领域的研究工作。最后提出了目前还存在的问题。一、非球面元件的特色及应用非球面是指除球面和平面以外的所有光学表面,在光学系统中应用非球面元件可以使复杂的结构变得简单,它们可以有效地消除像差,提高系统的成像质量。由于系统的尺寸及重量减少,稳定性提高,成本降低。这就使得光学设计人员越来越多地考虑在光学系统中采用非球面元件来取代球面元件。以星载成像光学系统为例,采用非球面可以使系统的重量降低20～30%。而对于这类系统来说,重量每减轻1kg,其发射成本相应降低5万元人民币,经济效益相当可观。虽然如此,但非球面自身的几何特点使得其加工与检测难度要大大高于球面。对于非球面来说,表面各点的曲率半径不同,范成法原理不再适用。而且,非球面的检测也需要专门的辅助设备,如补偿器等。这些问题都大大地增加了非球面元件的制造难度,同时也限制了非球面在高质量成像系统中的应用。二、常用的非球面加工方法简介对于非球面的加工,有两种基本方法:一种是采用单点金刚石切削技术,在高精度的金刚石车床上直接切削出非球面,面型精度可达0.3～0.5μm(P-V),表面粗糙度可达60～100nm(rms)。但该方法只适合于加工非脆性材料,对于光学系统中常用的光学玻璃则无法加工。为解决脆性材料的加工问题,美国的UnionCabridge等公司在80年代中后期研制了与单点金刚石车床具有同等精度的金刚石磨床,能够对光学玻璃,光学晶体等脆性材料进行磨削加工,面型精度可达0.3～0.5μm(P-V)。比较有代表性的是美国的几家公司与Rochester和Arizona大学共同研制的两代自动光学加工机床OpticamSM和OpticamSX,5min内可加工出面型精度达1μm(P-V),直径为50mm的玻璃非球面元件。但这类机床只能加工中等尺寸以下的非球面元件,而且存在下表面破坏层等缺陷,需要后续抛光处理。另一种是传统的手工加工方法,它主要依靠技师的经验。除上述两种基本方法外,还有一些其它非球面的加工方法。如光学玻璃模压成型技术、光学塑料的成型技术、环氧树脂复制技术等,但这些方法仍需要解决非球面模芯的制造问题。以上方法的加工精度及其适用范围如表1所示。随着空间科学技术的飞速发展,近年来对于空间光学系统中非球面元件的口径要求越来越大(4m以上),精度要求也越来越高[面型精度优于1/40λ(rms),λ=632.8nm,表面粗糙度小于2nm]。因此,适用于中等尺寸以上的玻璃材料非球面元件的高效、低耗、精密的加工方法已经成为国际光学加工界所追求的目标。本文所讨论的计算机控制光学表面成型技术(ComputerControlledOpticalSurfacing,简称CCOS)就是针对这类元件的加工而提出的。三、计算机控制光学表面成型技术(CCOS)1.CCOS技术简介表1常用非球面加工方法的精度及其适用范围加工方法加工精度(P-V/μm)适用范围备注手工加工0.1各种类型非球面元件劳动强度大单点金钢石切削0.5有色金属及少数晶体主要为反射面金刚石磨削0.5光学玻璃等脆性材料需后序抛光处理光学玻璃模压成型0.3小型非球面元件需精密磨具塑料注塑成型0.5小型非球面元件需精密磨具环氧树脂复制0.25中、小型非球面元件需精密磨具CCOS技术的思想是由美国Itek公司的W.J.Rupp在70年代初期最先提出的。其基本原理如图1所示。它根据定量的面型检测数据,建立加工过程的控制模型,用计算机控制一个小磨头对光学零件进行研磨或抛光,通过控制磨头在工件表面的驻留时间及相对压力来控制材料的去除量。同时利用计算机执行速度快、记忆准确等优势使加工的重复精度及效率大幅度提高。特别对于一些传统方法难于加工的大口径、离轴非球面光学元件来说是最佳选择。图1CCOS加工非球面示意图2.CCOS技术的进展情况及其发展趋势CCOS技术问世以来,世界上以美国为首的一些发达国家相继投入了大量的人力、物力和财力进行了深入研究。比较有代表性的有美国Arizona大学光学中心(OSC)、Rochester大学光学制造中心(COM)、Itek公司、Tinsley公司、Lawrence-Livermore国家实验室、法国的空间光学制造中心、俄罗斯的瓦维洛夫国家光学研究所等。CCOS技术的发展过程是随着计算机、精密测量、新工艺新材料等综合技术的发展而不断自我完善的过程。70年代初至80年代中前期,CCOS技术尚处于初始阶段。当时由于受计算机技术及精密测量技术发展的制约,CCOS还没有做到完全实用化。这期间Itek公司的R.A.Jones在CCOS的计算机模拟及加工设备的