8寸後段化学清洗蚀刻区使用注意事项.PDFVIP

  8吋後段化學清洗蝕刻區使用注意事項 : 1.本區設備僅供半導體製程之後段作業使用；前段製程作業，請至 NDL前段（ Class 100 ） 專用之 WET BENCH 操作。 2.所有欲使用者一律需先經過合格使用者訓練及 機台工程師通過考核後，方可自行使用，亦 可選擇以委託服務方式代工操作；嚴禁未經訓練及考核通過者，擅自使用本區設備以免造 成機台設備損壞或造成工安事故。 3.使用本區設備時，防護器具著裝必須確實，應全程穿戴防酸 圍裙、防酸手套及防酸面罩， 以維護作業時的人身安全。 4.本區設備所使用的藥品為無機化學藥品，切不可將有機類藥品（如：光阻,IPA ⋯ )拿至 本設備區操作與配製。 5.本區設備以執行 8吋及吋、4吋晶圓清洗蝕刻為主，另亦可提供破片試片浸泡，唯進行破6 片浸泡時，需以專用 PFA材料之治具裝載試片，以避免將試片掉落至製程槽內。 6.當有特殊製程需求時，一律需先向機台工程師 提出申請，經核准後方可使用或送件委託操 作。 7.本區設備僅接受 NDL廠務端中央化學品供應系統之藥品，嚴禁使用來路不明、自行分裝 或未依規定申請而自行攜入之藥品。 8.為避免製程污染，本區所使用之置具，不得移至前段 Bench 交叉使用。 9.不鏽鋼工作桌上之置物盒內備有石蕊試紙，供操作檯面、抗酸鹼手套或圍裙不明液體沾 附之測試使用，判讀方法可參照該試紙包裝外殼。 10.若需進行大量的化學藥水排放時，務必通知機台工程師，以免廠務廢水區之酸鹼值及氟 離子濃度異常飆高。 11.在作業過程中發生化學品危害時，請就近使用急救藥品及沖身洗眼設施 。 12.急救沖身洗眼器使用方法：脫去無塵衣物及相關配件，拉下拉環花灑水頭即會出水。另 將臉部靠進附屬面盆，其出水龍頭即可供洗眼部。 13.急救藥品使用分類及方法如下： 急救藥品置放處：10000級無塵室的沖身洗眼淋浴室內。   急救藥品使用分類： a.六氟靈：供含氟酸類的藥品沾附急救用(如：HF 、B.O.E.7:1等溶液） b.敵腐靈：供一般酸、鹼沾附急救用（如：H2SO溶液） 4 c.葡萄酸鈣軟膏:供含氟酸類的藥品沾附身體部位急救用，但切勿塗抹於眼部，以免導 致眼睛鈣化而致失明。 急救藥品使用方法：a.六氟靈：點滴瓶包裝：在沾附到化學藥品的1分鐘內，是最佳的使用 時機。使用時不需先沖水，在除去配件後，把急 救藥品點滴瓶附屬的針頭上蓋拔開，將針 尖刺開點滴瓶之封口，將眼杯罩住患處，即可將藥品引流至患處(眼部或身體）。b.敵腐靈： 點滴瓶包裝：在沾附到化學藥品的 1分 鐘內，是最佳的使用時機。使用時不需沖水在除去 配件後，把急救藥品點滴瓶附屬的針頭上蓋拔開 ，將針尖刺開點滴瓶之封口，將眼杯罩住 患處，即可將藥品引流至眼部患處。 c.噴罐包裝：使用時不需沖水，在除去配件後，把噴罐的上蓋打開，將噴頭出口對準 患處， 壓下噴頭，即可將藥品噴灑至身體患處,d.葡萄 糖酸鈣軟膏:先將患處沖水 30分鐘，再塗抹 葡萄糖酸鈣軟膏，同時加以按摩 15分 鐘，若症狀未改善即應迅速就醫。 14.操作本區設備所產生之廢棄物，需棄置於本操作區內之無機化學藥品廢棄物專用垃圾 桶，不可棄於無塵室內一般的垃圾桶內，以免殘酸廢鹼鏽蝕金屬材料而產生粉塵，繼而影 響無塵室之潔淨度。 15.操作本區設備時所使用之防護器具若有污損，需進行清潔。 抗酸鹼手套之清洗:以水槍於水槽處沖洗，再用擦拭紙擦乾後歸定位。 抗酸鹼面罩、抗酸鹼圍裙之清洗：以水槍於水槽處將擦拭紙沾濕，將沾附之殘酸廢鹼清 除後歸定位。 16.如遇緊急狀況時，應立即按下機台操作面板上之緊急按鈕(EMO)此時機台會立即斷電。 當遇機台異常時，除將異常訊息填寫於使用記錄本之備註欄內外，亦需通知機台工程師。