PLC在太阳能硅片清洗机上的应用 PLC Used in Solar Energy Silicon-Slice Cleaning Machine.pdfVIP

PLC控制技术 PLC在太阳能硅片清洗机上的应用 陈群 (南通纺织职业技术学院，南通226007) [摘要]通常的硅太阳能电池是在厚度约0．35mm的高质量硅片上制成的。而硅片在加工过程 中，其表面会吸附各种颗粒杂质，硅片清洗的目的就是要清除各类污染物。本文以硅片清洗工艺流 程为基础，对PLC在太阳能硅片清洗机上的应用进行了分析。 关键词太阳能电池硅片清洗机PLC 硅片，其表面已吸附了各种杂质，如颗粒、金属离子、 0引言 硅粉粉尘及有机杂质，硅片清洗的目的就是要清除 太阳能电池是利用光电转换原理使太阳的辐射 各类污染物，且清洗的洁净程度直接影响着电池片 光通过半导体物质转变为电能的一种器件，其工作 的成品率和可靠性。在太阳能电池的制备过程中要 原理是基于半导体P-N结的光生伏打效应。根据 进行多次清洗，其中，一次清洗(即扩散前清洗)，主 所用材料的不同，太阳能电池可分为：(1)硅太阳能 电池；(2)以多元化合物如砷化镓、硫化镉等为材料 蚀处理，完成去损伤层、制绒、去硅酸钠、去金属离子 的电池；(3)纳米晶化学太阳能电池等。不论以何种 等工艺。 材料来制作电池，对太阳能电池材料一般的要求是： 3硅片清洗机 有较高的光电转换效率，对环境不造成污染，且材料 性能稳定。基于以上几个方面考虑，硅是最理想的 3。1系统概述 太阳能电池材料[1]，硅太阳能电池是目前应用最广、 硅片清洗机一般由槽体、机械手、入机界面和电 技术最为成熟的太阳能电池。 控柜等几部分组成。除装料和取料需人工外，其余 工艺动作均由机械手来实现，机械手在各槽间的转 1硅太阳能电池的生产过程 换靠PLC来控制，操作员通过触摸屏控制生产。 硅太阳能电池的生产流程可以简化成：制备硅 硅片清洗工艺流程如图1所示，手动将装有原 片一扩散制结一镀膜一制作电极一封装。 料硅片的提篮放人上料位，机械手抓取提篮，按设定 将硅棒或硅碇切成片，一般片厚约0．35mm。程序将提篮转移到各工艺槽中进行腐蚀或清洗，相 硅片经过研磨、抛光、清洗等工序，制成待加工的原 关工艺槽具有加热、超声、排液、温度检测、液位检测 料硅片。为了提高电池片的导电性能，需对原料硅 等功能，完成处理过程后，机械手将提篮转移至下料 片进行掺杂和扩散处理，以制成P-N结，一般掺杂 位，手动取出提篮。 物为微量的硼、磷、锑等，扩散是在石英管制成的高 温扩散炉中进行，再采用丝网印刷的方法，制作电 极，并涂覆减反射膜，以降低表面反射。这样硅太阳 能电池片就制成了。再根据要求将电池片用串联或 田1清洗工艺流程 并联的方法组装成太阳电池组件，最后进行封装。 2硅片的清洗 其中5号、8号、10号槽中注满等离子水，1～4 号、7号、9号槽中分别注入指定浓度的化学腐蚀液， 经切片、研磨、倒角、抛光等多道工序加工成的 相应的功能如表1所示。 3．2PLC控制 收稿日期：2007—02—02 硅片清洗机中共有11个槽，3个机械手，各工 作者简介：陈群(1965一)，女，南通纺织职业技术学院机电系位均