Pr层厚度对纳米级FePrCu多层膜巨磁阻的影响 The Effect of Annealing Temperature on GMR in FePrCu Multilayer Films.pdfVIP

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Pr层厚度对纳米级FePrCu多层膜巨磁阻的影响 The Effect of Annealing Temperature on GMR in FePrCu Multilayer Films

Pr层厚度对纳米级Fe/Pr/Cu多层膜 巨磁阻的影响 韩庆艳,成 钢,顾正飞 (桂林电子科技大学信息材料科学与工程系,广西桂林541004) 摘要:采用直流磁控溅射法制备Fe/Pr/Cu系列多层膜,在超高真空中进行热处理,测量了系列样品的 结构和磁电阻。结果表明:退火温度为275℃的薄膜样品具有较好的层状结构和周期性。多层膜的层间 耦合性质随Pr层的厚度增加而发生变化,巨磁电阻(GMR)效应随Pr层的厚度增加而减小。讨论了稀 土Pr及Pr层的厚度对巨磁电阻效应的影响。 关键词:Fe/Pr/Cu多层膜;Pr厚度;巨磁阻(GMR)效应;磁控溅射 中图分类号:TM27;0482.52文献标志码:A 文章编号:1671—8887(2008)02—0023一04 of TheEffect AnnealingTemperature onGMRinFe/Pr/Cu Films Multilayer HAN Qing·yah,CHENGGang,GUZheng·fei MaterialsScienceand (Departmentoflnformation Engineering, Guilin Electronic Guilin 541004,China) Universityof Technology,Guangxi Abstract:TheFe/Pr/Cu films ontosubstrateswitha con. multilayerdeposited magnetron trolled methodandthendidinthe vacuumheattreatment,alsodida sputtering ultra-high seriesof measurementsofthestructureand resultsshow sample magnetoresistance.The that:thefilm havebetter structureand atthe samples layered cyclical annealingtemper- film the ofthe atureof275℃.The increasePr thickness。 multi-layerchangedby coupled the decreasestheincreaseofthePr thickness.Descuess giantmagnetoresistanceby layer theeffectofPrandPr thicknessonthe resistance. layer giantmagneto words:Fe/Pr/

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