奈米二氧化铜铁薄膜之结构与光学性质研究structure and optical .pdfVIP

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2017-08-16 发布于天津
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奈米二氧化铜铁薄膜之结构与光学性质研究structure and optical .pdf

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奈米二氧化薄膜之光性研究郁游瑞松洲大光通系台中市峰柳路摘要本研究利用溶凝法奈米薄膜研究薄膜之奈米及光特性初始薄膜非晶由退火後薄膜成一相相成份存在之表面均方根粗糙度薄膜多形之表面形貌射描式子微量示薄膜厚度薄膜透明半在波材料的透光率薄膜的直接能隙溶凝法薄膜奈米半一前言使用原子力微分析薄膜表面及量均方根透明氧化物可分型及型材料型材料如值初始沉未退火前薄膜表面二以及它的主要子是子另外一方面示薄膜多形的表面形貌三立型透明半氧化物主要的材料基三元氧化物亦可表面具有多形之立形如貌量初始沉的表面粗糙度以及些型半

Nanometer-Scale Technology and Materials Symposium 2013 Changhua, Taiwan, 13, December 2013 奈米二氧化銅鐵薄膜之結構與光學性質研究賴郁昇游瑞松亞洲大學光電與通訊學系台中市霧峰區柳豐路500號摘要本研究利用溶膠-凝膠法製備奈米CuFeO 薄膜，研究薄膜之奈米結構及光學特性，初始薄 2 膜為Cu-Fe-O非晶質，經由650°C退火後薄膜轉變成單一相CuFeO2 ，並無雜質相成份存在， CuFeO 之表面均方根粗糙度為3.49 nm ，薄膜為多邊形之表面形貌結構，場發射掃描式電子顯 2 微鏡(FESEM)量測顯示薄膜厚度為80 nm ，CuFeO 薄膜為透明導電半導體，在波長800 nm材料 2 的透光率為52% ，CuFeO 薄膜的直接能隙為3.73 eV 。 2 關鍵詞：溶膠－凝膠法，薄膜，奈米結構，半導體 Structure and Optical Properties of Nanometer CuFeO2 Thin Film Yu-Sheng Lai and Ruei-Sung Yu Department of Photonics and Communication Engineering, Asia University 500, Lioufeng Rd., Wufeng, Taichung 41354, Taiwan ABSTRACT In this study, correlations between the nanostructure and optical properties of CuFeO thin film 2 are discussed. Cu-Fe-O materials were prepared by sol-gel method. The as-deposited film was amorphous phase. After annealing at 650 °C, the film transferred