基于PLC的真空溅射镀膜机控制系统设计_刘进志.pdfVIP

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2017-07-31 发布于河北
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基于PLC的真空溅射镀膜机控制系统设计_刘进志

29 1 煤矿机械 V l29N 1 2008 1 C al Mine Machinery Jan. 200 8 基于PLC 的真空溅射镀膜机控制系统设计 , , ( , 050043) : 真空溅射镀膜技术及设备在当今和未来都拥有十分广阔的应用领域和发展景由于采用继电器- 接触器的镀膜机存在一些缺陷和不足, 设计了基于PLC 的真空溅射镀膜机几年的实践证明: 改进后的镀膜机工作效率有很大提高, 设备维修率也大大降低, 它为同类系统的设计提供了参考 : 继电器- 接触器控制; PLC 控制; 真空溅射镀膜机 : TP39 : A : 1003-0794( 2008) 01-0179-03 Design of Control System on Vacuum Sputtering Plating Machine with Programmable Logic Controller LIU Jin- zhi, H O Chang- sheng, LIU Xi- tai ( Mechanical Engineering C llege, Shijiazhuang Railway Institute, Shijiazhuang 050043, China) bstract:The techn l gy and equipment f the vacuum sputtering c ating have the extremely br ad applicati n and the devel pment in the future. Because the plating machine with the relay- c ntact c ntr l system has s me defects, the plating machine with pr grammable l gic c ntr ller is designed, several years practice pr ves. The efficiency f the plating machine that is inn vated impr ves greatly, and its maintenance pr babili- ty decreases greatly. It als pr vides reference f r similar system. Key words: relay- c ntact c ntr l; PLC c ntr l; vacuum sputtering plating machine 0 , 4 , , , , : ( 1) I- 7000 , : INIT * GND , [ 1] IO [ C] . , 2004. , [ 2] , . 7000 [ J] . . 2003( 1) : 62- 63. , INIT * GND , [ 3] KINGVIEW6. 5 [ K] . , 2004. ( 2) I- 7017 [ 4] . [M] . : , 2003. 125 ,