体传感器的最新进展.pdfVIP

2009年 仪表技术与传感器 2009 增刊 Instrument andSensor Technique supplement 气体传感器的最新进展 卢革宇，全宝富，张彤 (集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区，吉林大学电子科学与工程学院，吉林长春130012) 摘要：文中将综述气体传感器的最新进展。重点介绍半导体氧化物传感器、固体电解质传感器和使用纳米材料的新 型气体传感器的发展动向。此外还将概述日本企业的研发动向。 关键词：气体传感器；氧化物半导体；固体电解质；纳米敏感材料 中图分类号：TP212 文献标识码：A 文章编号：1002—1841(2009)增一0134—03 inG嬲Sensor Pro