有机薄膜器件的镀膜自动控制系统设计.pdfVIP

中图分类号：TP27 文章编号：1671—459812008)11—1619—03 文献标识码：A 有机薄膜器件的镀膜自动控制系统设计 唐 超1，夏斯杰2，徐 慧3，吴开红2 3．南京邮电大学光电工程学院，江苏南京210003) 擒要：设计了用于有机薄膜器件的镀膜自动控制系统；整个自动控制系统以单片机为核心，可分为3个功能模块：人机交互、强弱 电转换，样品处理．人机交互由单片机来实现；强弱电转换由固体继电器来完成；样品处理包括镀膜速率自动控制和样品保护两个部 分。控制系统体现了弱电控制强电的设计思路，系统采用了单片机、继电器、电磁阀和可调变阻器等器件以及程控可调电阻电路。所 设计的控制系统能克服目前有机薄膜器件镀膜系统的一些弊端，实现镀膜和镀膜速率的自动控制，并且能够避免有机半导体材料在真 空腔内的相互污染。 美毽词：用于有机薄膜器件的真空镀膜自动控制系统；单片机}固体继电嚣；电磁阀 ofAutomaticControl ofFilm