一种环形波导微波等离子体装置 A Microwave Plasma System with Ring Waveguide.pdfVIP

第35卷第1期 高 电 压技 术 V01．35No．1 ·48· 2009年 1月HighVoltageEngineering Jan． 2009 一种环形波导微波等离子体装置 冯 剑h2，张责新1，刘亮3，王淑敏1，张 庆1 3．华北电力科学研究院，北京100045) 摘要：微波等离子体可以通过无极放电方式产生，相对其它放电方式而言。容易在高气压下维持较高容量，有较 好的工业应用价值。但目前在较高气压下使用的微波等离子体装置还不成熟。为此。介绍了一种新型的微波等离 子体反应腔，包括该腔体的结构和设计原理。并将其与现有的纯狭缝式微波反应腔作了比较。以说明两缝结合腔体 的优点；通过引入喷气电离管前后微波激发所需要的能量变化以说明电离管的作用：它利用环形波导的狭缝天线 和大缝向腔内传输微波以激发和维持等离子体，这种两缝结合的形式使反应腔内高场强区域扩大，有助于大面积 等离子体的产生；同时，该腔体还配套有一喷气电离管。通过其产生的电离流的作用。有效