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四氟化硅的生产概况
第38卷第1期 无机盐工业
2006年1月 INORGANICCHEMICALSINDUSTRY
四氟化硅的生产概况
于剑昆
(黎明化工研究院，河南洛阳471001)
摘要：四氟化硅(SiF4)是电子工业中的一种重要原料，它还能用作光导纤维、太阳能电池和水泥硬化剂等的
原料。详细介绍了SiF。的物理、化学性质及危险特性。siF4的工业生产方法主要有硫酸法、六氟硅酸盐热解法和si
概况。
关键词：四氟化硅；氟硅酸；硅酸盐
文献标识码：A
中图分类号：TQl27．2 文章编号：1006—4990(2006)01—0001—04
Productionofsilicontetrafluoride
Yu
Jiankun
Research饥毗以eChemical
(丘ming of 471001，China)
lndmt形，He’ltaltLuoyang
tetrafluorideiSan in canalsousedasrawmaterialsOf
rawmaterialelectronic
Abstract：Silicon important industry．It
cellandcementhardener．Theandchemical andhazardcharacteristicsof are
fiber，solar
optical physical properties SiF4
detailed industrial methodsof have hexafluorosilicate
described．The sulfuricacid
synthesis SiF4mainly method，metal PY—
methodandSi—HFdirect whichusedinelectronic mustneed
rogenetic synthesismethod．SiR industry highpurity．The
methodsof are introduced．Andtheeconomicsof isalsointroduced
purification SiF4 emphatically SiF4
words：silicon
Key tetrafluoride；fluorosilicicacid；silicate
l SiF4的应用及经济概况 进入21世纪后，随着世界电子工业的飞速发
SiF。在电子和半导体行业中主要用于氮化硅、 展，与之相关的特种气体的产量也大幅提升。美国
硅化钽等的蚀刻剂、P型掺杂剂、外延沉积扩散硅源
等，还可用于制备电子级硅烷或硅。SiF。还可用作 hwa和美国俄克拉何马州分别建了一套装置，同时
光导纤维用高纯石英玻璃的原料，它在高温火焰中 提升了现有的2套装置的产能。
水解可产生具有高比表面积的热沉SiO：。此外，
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