脉冲激光打孔声波产生机理研究 - 激光与红外.pdf

第４４卷　 第１２期　 　　　　　　　　　　　　　　激 光 与 红 外 Ｖｏｌ．４４，Ｎｏ．１２ 　 ２０１４年１２月　　　 　 　　　　　　　　　　ＬＡＳＥＲ　＆　ＩＮＦＲＡＲＥＤ Ｄｅｃｅｍｂｅｒ，２０１４ 　　文章编号：１００１５０７８（２０１４）１２１３３１０４ ·激光应用技术 · 脉冲激光打孔声波产生机理研究 １ １，２ １ １ 卢　轶 ，冯爱新 ，戴峰泽 ，温德平 （１江苏大学机械工程学院，江苏 镇江２１２０００；２温州大学机电工程学院，浙江 温州３２５０３５） 摘　要：为了研究激光打孔过程中声波信号产生机理。利用电容传声器、ＰＶＤＦ传感器分别测 量了激光打孔过程中的声波型号与冲击波信号，比较并分析了氧气为辅助气体、无辅助气体时 声波信号的异同。研究结果表明：激光作用于孔内材料诱导产生的等离子体冲击波是激光打 孔过程中产生声波的主要原因；辅助气体不是产生声波信号的必要条件；氧气作为辅助气时起 到两方面作用：一方面，气流的物理作用减弱材料蒸汽和等离子对激光的屏蔽效应，维持较为 连续的声波信号输出；另一方面，氧气的化学作用会增强材料蒸汽和等离子的屏蔽效应。氧气 的物理作用与化学作用交替进行产生了不连续的声波信号。 关键词：激光技术；激光打孔；ＰＶＤＦ；声波信号 中图分类号：ＴＮ２４９　　文献标识码：Ａ　　ＤＯＩ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１００１５０７８．２０１４．１２．００８ Ｍｅｃｈａｎｉｓｍｓｔｕｄｙｏｎａｃｏｕｓｔｉｃｓｉｇｎａｌｅｍｉｓｓｉｏｎｄｕｒｉｎｇｐｕｌｓｅｌａｓｅｒｄｒｉｌｌｉｎｇ １ １，２ １ １ ＬＵＹｉ，ＦＥＮＧＡｉｘｉｎ ，ＤＡＩＦｅｎｇｚｅ，ＷＥＮＤｅｐｉｎｇ （１ＭｅｃｈａｎｉｃａｌＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＪｉａｎｇｓｕＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｚｈｅｎｊｉａｎｇ２１２００３，Ｃｈｉｎａ； ２ＣｏｌｌｅｇｅｏｆＭｅｃｈａｎｉｃａｌ＆ＥｌｅｃｔｒｉｃａｌＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＷｅｎｚｈｏｕＵｎｉｖｅｒｉｓｉｔｙ，Ｗｅｎｚｈｏｕ３２５０３５，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｉｎｏｒｄｅｒｔｏｓｔｕｄｙｔｈｅｍｅｃｈａｎｉｓｍｏｆａｃｏｕｓｔｉｃｓｉｇｎａｌｅｍｉｓｓｉｏｎｄｕｒｉｎｇｌａｓｅｒｄｒｉｌｌｉｎｇ，ａｃｏｕｓｔｉｃａｎｄｓｈｏｃｋｗａｖｅ ｓｉｇｎａｌｄｕｒｉｎｇｌａｓｅｒｄｒｉｌｌｉｎｇｐｒｏｃｅｓｓｗｅｒｅｄｅｔｅｃｔｅｄｂｙｍｉｃｒｏｐｈｏｎｅａｎｄＰＶＤＦｓｅｎｓｏｒ，ｔｈｅｄｉｆｆｅｒｅｎｃｅｏｆａｃｏｕｓｔｉｃｓｉｇｎａｌ ｗａｓｃｏｍｐａｒｅｄａｎｄａｎａｌｙｚｅｄｗｈｅｎＯｗａｓａｓｓｉｓｔｅｄｇａｓａｎｄｔｈｅｒｅｗａｓｎｏａｓｓｉｓｔｅｄｇａｓ．Ｓｔｕｄｙｒｅｓｕｌｔｓｓｈｏｗｅｄｔｈａｔｔｈｅｌａ ２ ｓｅｒｉｎｄｕｃｅｄｐｌａｓｍａｓｈｏｃｋｗａｖｅｗｈｅｎｌａｓｅｒｉｎｔｅｒａｃｔｗｉｔｈｍａｔｅｒｉａｌｓｉｓｔｈｅｍａｉｎｒｅａｓｏｎｔｈａｔｇｅｎｅｒａｔｅｓｔｈｅｓｏｕｎｄｗａｖｅ ｄｕｒｉｎｇｐｅｒｃｕｓｓｉｏｎｌａｓｅｒｄｒｉｌｌｉｎｇｐｒｏｃｅｓｓ．Ａｓｓｉｓｔｇａｓｉｓｎ’ｔｔｈｅｎｅｃｅｓｓａｒｙｃｏｎｄｉｔｉｏｎｔｈａｔｇｅｎｅｒａｔｅｓｓｏｕｎｄｗａｖｅ．Ｗｈｅｎ ａｓｓｉｓｔｅｄｇａｓｉｓＯ，ｉｔｃａｎｒｅｄｕｃｅｔｈｅｓｈｉｅｌｄｉｎｇｅｆｆｅｃｔｏｆｐｌａｓｍａａｎｄｖａｐｏｒｏｎｌａｓｅｒａｎｄｍａｉｎｔａｉｎａｃｏｎｔｉｎｕａｌｏｕｔｐｕｔｏｆ ２