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不同电流密度对特性的影响 1 不同退火条件的影响 2 不同电压对于光学特性的影响 3 下一阶段实验计划 4 Contents 不同电流密度对特性的影响 编号 氧化电压（V） 氧化电流密度 （mA/cm2） 电阻率 (Ω/cm) H2 30 0.05 200 H1 30 0.1 160 H6 30 0.15 1E-2 H7 30 0.2 1.2E-2 H4 30 0.3 2E-3 从电阻率的变化上分析：电流密度小于0.1mA/cm2 ，氧化薄膜才能充分氧化 从不同电流密度的氧化膜的透过率变化上来分析：透过率的变化明显与氧化的充分性有关。 但是由于从实际的另一组的透过率中可以观察到：在氧化充分的条件下，透过率的变化很小。 在比较透明的区域，氧化的充分进行，使得光学带隙的变化向宽禁带变化，0.05mA/cm2电流密度下，光学带隙为3.72eV ,相比于ZnO的禁带宽度3.37eV，有一定的增加，推测主要原因是：随着氧化的充分进行，氧离子的不断进入氧化膜，使得氧化膜有序性的减弱，形成的ZnO薄膜是非晶结构。有研究表明：在ZnO中氧离子的作用不仅仅是影响薄膜的特性也会减弱薄膜结构的有序性。这点可以从XRD，SEM的图形中得到。 Adamopoulos G, Bashir A, Thomas S, et al. 2010, 22(42): 4764-4769. 从不同氧化电流密度形成的薄膜的