表面覆盖退火对ZnO薄膜光学性质的影响 Effect of Surface-Covered Annealing on the Optical Properties of ZnO Films Grown by MOCVD.pdfVIP

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2017-08-03 发布于上海
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表面覆盖退火对ZnO薄膜光学性质的影响 Effect of Surface-Covered Annealing on the Optical Properties of ZnO Films Grown by MOCVD.pdf

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第27卷第3期半导体学报 V01．27No．3 2006年3月 CHINESEJOURNALoFSEMICONDUCTORS Mar，2006 EffectofSurface—Coveredonthe AnnealingOptical ofZnOFilmsGrownMOCVD Properties by Li，Pu Wang Yong，FangWenqing，MoChunlan，XiongChuanbing，andJiangFengyi+ ResearchCenterLuminescentMaterialsandDevicestheEducation (Engineering for of Ministry 330047．China) NanchangUniversity，Nanchang films metal chemical at areannealedat Abstract：ZnO grownby organic vapordepositionatmosphericpressure 850℃．withthefilmsurfaces toairorcovereda wafer．The ofthe exposed by sapphire opticalpropertiesas-grown andtheannealed arestudied isfoundthatthe samples byphotoluminescence(PL)spectroscopy．Itair·exposure removesthe fromtheZnOfilmsbut increasesthe e- effectively hydrogenimpurities greatly deep-level annealing mission．Inthesurface·coveredannealed eliminationofthe isalsoobserved，and sample，an hydrogenimpurities the emission Thefreeexcitonemissionis enhancedintheZnOfilm deep-leveldisappearscompletely significantly aftersurface-covered annealing． words：zincoxide Key annealing；opticalproperties；exciton PAOC：8140T CLCnumber：TN304Doanllent Article code：A liD：0253—4177(2006)03．0409—04 cal andthe of lumines· increase