椭偏精确测定透明衬底上吸收薄膜的厚度及光学常数李江-物理学报.PDF

椭偏精确测定透明衬底上吸收薄膜的厚度及光学常数 李江 唐敬友 裴旺 魏贤华 黄峰 Accurate determination of thickness values and optical constants of absorbing thin films on opaque substrateswithspectroscopicellipsometry LiJiang TangJing-You PeiWang WeiXian-Hua Huang Feng 引用信息Citation: ActaPhysicaSinica, ,110702(2015) DOI: 10.7498/aps.64.110702 在线阅读Viewonline: /10.7498/aps.64.110702 当期内容Viewtableofcontents: /CN/Y2015/V64/I11 您可能感兴趣的其他文章 Articles youmaybeinterestedin 基于磁/电介质混合型基体的宽带超材料吸波体的设计与制备 Design and fabrication of a broadband metamaterial absorber based on a dielectric and magnetic hybrid substrate 物理学报.2015,64(7): 077801 /10.7498/aps.64.077801 硅太阳能电池的调制载流子红外辐射动态响应与参数分析 Infrared radiation dynamic response and parametric analysis for silicon solar cell using photocarrier ra- diometry 物理学报.2014,63(22): 227801 /10.7498/aps.63.227801 基于Mueller矩阵椭偏仪的纳米压印模板与光刻胶光栅结构准确测量 Accuratemeasurementoftemplatesandimprintedgrating structures using Mueller matrix ellipsometry 物理学报.2014,63(18): 180701 /10.7498/aps.63.180701 弹光调制型成像光谱偏振仪中的高精度偏振信息探测研究 The research of polarized information detection for photo-elastic modulator-based imaging spectropo- larimeter 物理学报.2013,62(6): 060702 /10.7498/aps.62.060702 用斜入射光反射差法无标记实时监测不同浓度兔IgG和山羊抗兔IgG反应的动力学过程 Label-freeandreal-timedetectionofinteractionaldynamicprocessesofrabbitIgGwithdifferentconcen- trationsandgoatanti-rabbit IgGbyoblique-incidencereflectivity differencemethod 物理学报.2012,61(6): 060703 /10.7498/aps.61.060703 物理学报 Acta Phys. Sin. Vol. 64, No. 11 (2015) 110702 椭偏精确测定透明衬底上吸收薄膜的厚度及 光学常数 李江 唐敬友 裴旺 魏贤华 黄峰 1) (中国科学院海洋新材料与应用技术重点实验室, 浙江省海洋材料与防护技术重点实验室, 中国科学院宁波材料技术与工程研究所, 宁波 315201) 2)(西南科技大学材料科学与工程学院, 绵阳 621010) ( 2014 年9 月21 日收到; 2015 年1 月14 日收到修改稿) 椭偏仪