超纯水处理PLC控制系统设计.pdfVIP

、超纯水处理PLC控制系统设计 何银平1，唐建国2，傅成华1 (1．四川理工学院，四川自贡643000；2．重庆三峡学院，重庆万州404000) [摘要]介绍了基于西门子S7-400系列PLC控制系统在某8英寸晶圆厂超纯水处理系统中的应用，并对其自 动控制系统的控制结构和设计、电气设备、在线仪表和系统程序进行了初步阐述。 关键词 超纯水处理人机界面PLC 0引言 2007年11月完成的重庆渝德科技有限公司时啦帅副别刨时 250m3／h超纯水生产线，是为了满足该公司8英寸晶 圆90nm生产工艺之光刻、扩散、CMP(化学机械抛 光)，金属化，CVD(化学气相沉淀)、腐蚀、离子注入 等工序用水需要。因大规模集成电路对水质要求很高， }皿卜皿向7凼-1刚龟 这对纯水制备控制系统提出了较高要求。PLC作为传 统继电接触装置替代产品，已广泛应用于工业控制各 个领域。现引入模块设计结构和极强扩展能力的 ．r]余 Siemens S7．400系列PLC控制器，可以大大简化控制 盯厂n一一 系统设计，提高抗干扰能力，增加可靠性，实现对整 匮圈匦蕊困甄蕊匝圃 圆 圃 个系统进行水质控制，而且极其方便连接上位机，从 而实现超纯水系统与厂务监控系统有机结合。 图1超纯水处理系统工艺流程 2控制系统结构与设计 1工艺流程 2．1控制系统结构 超纯水处理工艺流程分为预处理(Pretreatment)、 根据超纯水处理工艺要求，系统主要是进行顺序控 生产(Makeup)和抛光(Polish)3部分，如图1所示。 制和过程控制。顺序控制实现PLC对原水泵，沙滤器、 收稿日期：2007-11-28 换热器、活性碳过滤器、阴阳离子交换塔、COz脱气 作者简介：何银平(1976-)，男，在读硕士，研究方向为智能控制；塔、紫外灯，反渗透膜、混床，薄膜脱氧器、抛光混 床、超滤等组件的启动、停车及各设备问的关联控制。 唐建国(1954·)，男，教授，硕士生导师，研究方向为工业自动 化，系统科学理论及应用方面； 过程主要实现对系统温度、液位、流量、压力、电导率 傅成华(1958-)，男，教授。硕士生导师，研究方向为自动控制。等工艺参数采集，以调节热水和冰水阀门开度、超纯水 MA×3468ESA等，这些芯片价格一般在十几元至几十离电缆(特别是在工业现场)。西门子公司早期出产的 元，而SN75176的价格仅为1．5元。 PC／PPI电缆(6ES7 (3)采用响应速度更快、承受瞬态功率更大的新型保 在也改成隔离的电缆了。 护器件TVS或BL浪涌吸收器，如P6KE6．8CA的钳制(2)PLC的RS一485口联网时采用隔离的总线连接 电压为6．8V，承受瞬态功率为500W，BL器件则可抗器，如PFB—G，速率为0-1．5Mbps自动适应，外形和 击4000A以上大电流冲击。 使用方法与西门子非隔离的总线连接相同。 (4)R1和R2采用正温度系数的自恢复保险PTC，(3)与PLC联网的第三方设备，如变频器、触摸屏等 如JK60—010，正常情况下的电阻值为5Q，并不影响正 常通信，当受到浪涌冲击时，大电流流过PTC和保护器 这样各RS·485节点之间就无“电”的联系，也无地线环 件TVS(或BL)，PTC的电阻值将骤然增大，使浪涌电流产生，即使某个节点损坏也不会连带其它节点损坏。 流迅速减小。 缆， 保证屏蔽层接到每台设备的外壳并最后接大地。 8．2从PLC外部考虑 (5)对于有架空线的系统，总线上最好设置专门的 防雷击设施。