超短脉冲激光与介质薄膜相互作用的解析研究 Analytical Research of Ultra-short Laser Pulses Interacting with Dielectric Materials.pdfVIP

超短脉冲激光与介质薄膜相互作用的解析研究 Analytical Research of Ultra-short Laser Pulses Interacting with Dielectric Materials.pdf

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SEMICONDUCTOROPTOELECTRONICSV01.29No.2 Apr.2008 超短脉冲激光与介质薄膜相互作用的解析研究 赵 刚,郝秋龙,陈建国,齐文宗 (四JIJ大学电子信息学院。四川成都610064J 摘 要: 在对速率方程求解的基础上,得到了超短脉冲激光辐照下介质表面电子密度演化的 解析表达式;并导出了脉冲通量密度与破坏脉宽阈值的解析关系式;得到了介质损伤闺值与脉宽之 间的关系;并考查了初始电子密度对损伤阈值的影响。 关键词: 超短脉冲激光;电子密度;破坏阈值;激光物理;解析分析 中图分类号:TN248.35 ResearchofUltra-shortLaserPulses with Analytical DielectricMaterials Interacting ZHAO Gang,HAO Qiu—long,CHENJian-guo,QIWen-zong ofElectronicsandInformation (College 610064,CHN) Engin∞ring,SichuanUniversity,Chengdu Abstract:The fortheelectron a secant analyticalexpression densityinduced—byhyperbolic ultra—shortlaser wasdeduced.andan forthethresholdwidthin pulse explicitexpression pulse termsofthefluence was studiedwasthe thresholdfluencewith densityderived,and damage differentinitialelectron density. words:ultra—short pulseslaser;electron l Key density;damagethreshold;opticsanalytical description 1 引言 引起人们的关注是因为它会产生很多新的物理现 象,例如石英玻璃在飞秒激光辐照后会引起作用区 自从1960年发明激光以来,激光与介质材料相域的折射率变化,色心的产生,微爆炸效应,光谱超 互作用就一直是重要的研究领域[1~1引。在早期的研连续的现象以及脉冲的分裂;这些现象可用于微加 究中,人们就已经认识到要破坏介质,照射的激光通 工,三维光存储,三维微结构以及光波导的制备。由 量密度需超过某个与具体介质有关的阈值。观察表 于近年来,光电子、通讯、半导体加工业对器件的要 明,在光脉冲宽度(FWHM)r大于约10 ps的情况 求已经从微米的尺度向纳米尺度迈进,关于物质的 下,破坏阈值通量密度F血大致与r1/

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