甚高电容合氢等离子体特性研究-物理学报.PDF

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2017-08-04 发布于天津
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Acta Phys. Sin. Vol. 61, No. 16 (2012) 165203 * † ( , , 450052 ) ( 2011 11 4 ; 2011 12 23 ) H2 SiH4 , . , . , 75 MHz , , , (OES) . : ne , Te Hα Hβ ; 1 Torr (1 Torr = 133.322 Pa) 5 Torr , , ne , Te ; 30 W 70 W, ne Hα Hβ , Te ; OES . : , , , PACS: 52.65.−y, 52.70.−m ; [8] 1 PECVD ; Zhang [9] , . (PECVD) ( )[1]. , , , . , , , SiH4 H2 , (VHF) , . SiH4 10%, . H2 , , H2 . , . Novikova [2] (75 MHz) H2 , ; Bhandarkar [3] Bleecker , [4] . ; Moravej [5] plug-ﬂow ; Nienhuis [6] 2 SiH -H 4 2 2.1 , ; Lee [7] COMSOL * (: 2011CB201606) (: . E-mail: yangshie@ c 2012 Chinese Physical Society 165203-1 Acta Phys. Sin. Vol. 61, No. 16 (2012) 165203 , 5 :