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恒流应力下E2PROM隧道氧化层的退化特性研究-物理学报.PDFVIP

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  • 2017-08-15 发布于天津
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恒流应力下E2PROM隧道氧化层的退化特性研究-物理学报.PDF

    第卷第期年月物理学报恒流应力下隧道氧化层的退化特性研究李蕾蕾刘红侠于宗光郝跃西安电子科技大学微电子学院宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室西安年月日收到年月日收到修改稿在电容测量的基础上研究了薄隧道氧化层在恒定隧穿电流下的退化情况这种退化是恒流应力和时间的函数对恒流应力大小的依赖性更加强烈隧道氧化层在电流下的退化是注入电荷密度的函数在较低下氧化层中发生正电荷俘获在较高下发生负电荷俘获导致栅压变化的反复关键词隧道氧化层退化恒流应力与详细工艺步骤相关由于的制造与引言不同所以对的研究不能准确地揭示氧

    第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 %$$? ， ， ， Y+- 6 1+ 6 =CF %$$? （ ） #$$$0)%($V%$$?V $ V%@(0$ AQJA :WXIPQA IP1PQA

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