第3节 力敏传感器.ppt

传感器原理 第三章 力/压力敏传感器 第三章 力/压力敏传感器 主要内容： 电阻应变计 金属应变计 半导体应变计 应变计的测量原理和测量线路 电阻应变式传感器的应用 压电式力传感器 压电式传感器的基本原理 压电传感器的等效电路与测量线路 压电式传感器的应用 第三章 力/压力敏传感器 力/压力敏传感器可用于测量位移、加速度、力、力矩、压力等各种参数，由于它们都与机械应力有关，这类传感器常被称为力学量传感器 常见的力学量传感器类型 电阻应变式传感器 压电式传感器 电容式传感器 电感式传感器 3.1 电阻应变计 电阻应变计，也称应变片，是进行应力和应变测量的关键元件，同时也是用来制造荷重、扭矩、加速度、位移等传感器的关键元件 电阻应变式荷重传感器 电阻应变式扭矩传感器 电阻应变式加速度传感器 电阻应变式位移传感器 电阻应变效应是电阻应变计工作的基本原理 电阻应变计的分类 按敏感栅材料分类 金属应变片：丝式、箔式、金属薄膜应变计 半导体应变片：体型、扩散型、薄膜型半导体应变计 按基底材料分类 纸基、胶基、浸胶基、金属基应变片 按工作温区分类 低温、常温、中温、高温应变片 3.1.1 金属应变计 金属应变计是一种能将机械构件上应变的变化转换为电阻变化的传感元件 机械构件通常是弹性元件，弹性元件在外力的作用下能够产生弹性变形，外力撤销后，弹性元件又能回复原来的形状 从传感器的组成角度上看，弹性元件属于敏感元件，金属应变计属于转换元件（传感元件） 电阻应变式传感器通常由弹性敏感元件和应变片构成 电阻应变式传感器的工作原理 怎么理解电阻应变式？ 应变是一种途径 电阻变化是结果 怎么理解电阻应变式传感器？ 它应该是通过应变而影响到传感器的输出电阻的变化的一种类型的传感器 电阻应变式传感器的基本结构是什么？ 被测量——应变——电阻 电阻应变式传感器的工作原理 实现电阻应变式传感器靠什么？测什么？ 电阻应变式传感器的工作原理 构成 弹性敏感元件 电阻应变片 弹性敏感元件 感受被测量，产生变形 是传感器组成中的敏感元件 电阻应变片 是传感器组成中的转换元件（传感元件） 它将应变转换为电阻值的变化 电阻应变式传感器的工作原理 电阻应变式传感器的基本原理是通过弹性敏感元件将被测量的变化转换成弹性变形，这个变形在应变片的作用下转换为电阻值的变化，再经过信号调节转换电路变成电压或电流信号的变化 通过测量电压或电流信号的变化来确认传感器输出电阻的变化，从而进一步依赖电阻变化与应变之间的关系，以及应变和被测量之间的关系来求得被测量的变化 通过不同的弹性敏感元件可以将不同的被测量转换为应变的形式，从而实现不同的测量目的 一、 金属应变计的基本原理 金属的电阻应变效应 金属丝的电阻随着它所受的机械变形（拉伸或压缩）的大小而发生相应的变化的现象称为金属的应变效应。 金属应变计的工作原理就是利用了金属的电阻应变效应，将应变片感受到的应变转换为电阻的变化 金属的电阻应变效应 金属丝的电阻 金属的电阻应变效应 当金属丝受到轴向力F而被拉伸（或压缩）时，其L、A、ρ均会发生变化，金属丝的电阻值随之发生变化，电阻变化和相对变化分别为： 因为 金属的电阻应变效应 金属丝的轴向应变 金属丝的径向应变 金属丝受拉时，沿轴向伸长，而沿径向缩短，二者之间的关系为 金属的电阻应变效应 则 金属丝的灵敏系数Ks 表示金属丝产生单位变形时，电阻相对变化的大小。 金属的电阻应变效应 实验证明，在金属丝变形的弹性范围内，电阻的相对变化于应变εx是成正比的，Ks为一常数。 应变片的灵敏系数K恒小于同一材料金属丝的灵敏系数Ks。 标称灵敏系数是经抽样测定灵敏系数的平均值 二、金属应变片的结构和分类 金属应变片的典型结构 金属应变片的分类 丝式应变片 用金属丝构成敏感栅粘结在各种绝缘基底上构成 回线式应变片 电阻丝绕制 存在横向效应 短接式应变片 电阻丝焊接 克服横向效应 焊点多，容易出现疲劳破坏 制造工艺要求高 金属应变片的分类 箔式应变片 利用光刻、腐蚀方法将电阻箔材在其绝缘基底下制成各种图形 优点 可制成任意形状以适应不同的测量要求 粘合面积大 粘结情况好，传递试件应变性能好 散热性能好，允许通过较大的工作电流 横向效应可以忽略 蠕变、机械滞后小，疲劳寿命高 金属应变片的分类 薄膜应变片 采用真空蒸发或真空沉积等方法将电阻材料在基底上制成一层各种形式敏感栅而形成应变片 应变片灵敏系数高 易实现工业化生产 温度误差较难控制 三、金属应变片的参数 应变片电阻值（R0） 指未安装的应变片，在不受外力的情况下，于室温条件测定的电阻值，也称原始阻值。 应变片电阻值趋于标准化 绝缘电阻 敏感栅与基底间的电阻值，一般应大于10G。 三、金属应变片的参数 灵敏系数（K） 指应变片安装