应用于非制冷焦平面器件上的PMN–PT 铁电薄膜 - Ingenta Connect.PDF

第39 卷第9 期 DUBRAVKA Bjegovic 等：微生物对混凝土的侵蚀 · 1489 · 第39 卷第9 期 硅 酸 盐 学 报 Vol. 39 ，No. 9 2 0 1 1 年 9 月 JOURNAL OF THE CHINESE CERAMIC SOCIETY September，2011 应用于非制冷焦平面器件上的PMN–PT 铁电薄膜 1 2 3 李振豪 ，李琳 ，普朝光 (1. 华南理工大学，广州 510006 ；2. 中山大学，广州 510275 ；3. 昆明北方红外光电子有限公司，昆明 650223) 摘 要：利用射频磁控溅射方法生长掺钛铌镁酸铅–钛酸铅(lead magnesio–niobate titanate，PMN–PT)薄膜，研究PMN–PT 薄膜的热处理技术，并测试 –8 制备的 PMN–PT 薄膜样品的晶向结构及电性能。结果表明：PMN–PT 薄膜在 450 ℃退火就能完全晶化成钙钛矿结构，其热释电系数达到0.9 × 10 2 C/(cm ·K) ，有望解决目前阻碍集成式铁电型非制冷焦平面探测器技术发展的瓶颈问题，即铁电薄膜晶化生长所需的高温与读出电路可承受温度的兼 容性问题。 关键词：铌镁酸铅–钛酸铅；热处理；X 射线衍射；热释电系数 中图分类号：TN304 文献标志码：A 文章编号：0454–5648(2011)06–1489–04 网络出版时间：2011–08–29 14:36:00 DOI ：CNKI:11-2310/TQ1436.021 网络出版地址：/kcms/detail/11.2310.TQ1436.021.html PMN–PT Thin Film for Uncooled Infrared Focal Plane Array Applications LI Zhenhao 1 2 3 ，LI Lin ，PU Chaoguang (1. South China University of Technology, Guangzhou 510006; 2. SUN YAT–SEN University, Guangzhou 510275; 3. Kunming Institute of Physics, Kunming 650223, China) Abstract: lead magnesio–niobate titanate (PMN–PT) ferroelectric thin films were prepared by radio-frequency magnetron sputtering. An annealing procedure for PMN–PT thin films with pre-annealing process was studied. After the annealing procedure was applied, performances of the thin films were investigated. Experimental results show that pre-annealing at 300