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Item 設備所在廠區 Eqp Name(中文) Eqp Name Vendor Model Name Work Size Eqp Status
1 台灣新竹廠區 曝光機 STEPPER Nikon FX-701M G3.5 Complete
2 台灣新竹廠區 曝光機 STEPPER Canon MPA-5500B /MPA-5501B G3.5 Complete
3 台灣新竹廠區 Coater+顯影機 Coater+Developer TEL CS800S G3.5 Complete
4 台灣新竹廠區 Coater+顯影機 Coater+Developer Hirata 3.5G Coater/developer inlne G3.5 Complete
5 台灣新竹廠區 Dry etching Dry etching TEL ME-700 R3 / ME-700S R3 G3.5 Complete
6 台灣新竹廠區 CVD CVD AKT AKT-4300 / AKT-4300A G3.5 Complete
台灣新竹廠區 CVD CVD ULVAC CMD-750HT G3.5 Complete
8 台灣新竹廠區 PVD PVD ULVAC SMD-750B G3.5 Complete
9 台灣龍潭廠區 DRY CLEANER DRY CLEANER Takigen NA G2.5 Complete
WALL CLEANING TEST WALL CLEANING TEST
10 台灣龍潭廠區 NA NA G2.5 Complete
MACHINE MACHINE
11 台灣龍潭廠區 HOLE DRILL MACHINE HOLE DRILL MACHINE 旭荣 NA G2.5 Complete
12 台灣龍潭廠區 AGING BENCH AGING BENCH NA NA G2.5 Complete
GIZMO II (PANEL TEST GIZMO II (PANEL TEST
13 台灣龍潭廠
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