使用2460SourceMeterSMU仪器以高电流量测低电阻装置.PDF

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使用 2460 SourceMeter ® SMU 儀器 以高電流量測低電阻裝置 –– 應用摘要 使用 2460 SourceMeter ® SMU 儀器以高電流量測低電阻裝置 應用摘要 簡介 2460 1 2 10Ω (DUT) FORCE LO Sense LO DUT FORCE HI Sense HI 1 (7A) Keithley 8608 (DMM) DMM (SMU) SourceMeter SourceMeter Keithley 2460 Source ® Meter SMU / 圖 1. 機型 2460 低電阻量測的前面板連接 7A 2460 2460 1mΩ 2 | WWW.TEK.COM.TW 使用 2460 SourceMeter ® SMU 儀器以高電流量測低電阻裝置 應用摘要 2 2460-KIT Screw (2460 ) 2460-BAN / R 測試電流 (I) HI LEAD () I VM VM VR R 待測 電阻 電阻 R LO LEAD VM = 由電錶量測的電壓 VR = 通過電阻 (R) 的電壓 V 量測電阻 = M = R + (2 × RLEAD) I 圖 3. 利用 SMU 儀器進行的電阻量測 非歐姆接點

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