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使用2460SourceMeterSMU仪器以高电流量测低电阻装置.PDF
使用 2460 SourceMeter ® SMU 儀器
以高電流量測低電阻裝置
––
應用摘要
使用 2460 SourceMeter ® SMU 儀器以高電流量測低電阻裝置 應用摘要
簡介
2460
1 2
10Ω
(DUT) FORCE LO
Sense LO DUT FORCE HI
Sense HI
1 (7A)
Keithley 8608
(DMM)
DMM
(SMU) SourceMeter
SourceMeter
Keithley 2460 Source
®
Meter SMU /
圖 1. 機型 2460 低電阻量測的前面板連接
7A
2460
2460 1mΩ
2 | WWW.TEK.COM.TW
使用 2460 SourceMeter ® SMU 儀器以高電流量測低電阻裝置 應用摘要
2 2460-KIT Screw
(2460 ) 2460-BAN / R 測試電流 (I)
HI LEAD
()
I VM VM VR R 待測
電阻 電阻
R
LO LEAD
VM = 由電錶量測的電壓
VR = 通過電阻 (R) 的電壓
V
量測電阻 = M = R + (2 × RLEAD)
I
圖 3. 利用 SMU 儀器進行的電阻量測
非歐姆接點
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