声表面波谐振器的ANSYS 分析.pdf

声 学 技 术 Technical Acoustics 声表面波谐振器的ANSYS 分析 付琛, 李红浪，柯亚兵，何世堂 （中国科学院声学研究所，北京，100190） Surface acoustic wave resonators analysis by ANSYS FU Chen， LI Hong-lang，KE Ya-bing，HE Shi-tang (Institute of Acoustics, Chinese Academy of Sciences, Beij ing 100190,, China) 1 引 言 随着移动通讯的发展，对声表面波(Surface acoustic wave, SAW)器件的设计要求越来越高， 早期对 SAW 器件的设计的唯象模型的方法因为 采取了较多的近似，模拟的结果精确度不高。随 反射栅 反射栅 着计算机技术的迅猛发展，有限元法 (Finite IDT element method, FEM) 和有限元/ 边界元方法 (Boundary element method, BEM) 的方法能够采用 图1 单端SAW 谐振器结构 数值方法有效地求解波动方程，而且能考虑到多 Fig.1 One port SAW resonator structure 种效应，能够精确地仿真 SAW 器件，因此越来 2.2 SAW 谐振器的ANSYS 模拟方法 越广泛地应用于声表面波器件的设计中。其中 ANSYS 作为一种商业有限元分析软件由于它具 在实际问题中，由于复杂的边界条件，并不 有良好的用户界面，强大的求解器和通用性等优 能得到压电晶体内波动微分方程理论上严格解， [1] [2] 需要借助计算机通过数值方法来求近似解，有限 点而成为进行SAW 器件的仿真的一个热点 。 元方法是将连续的区域划分成有限个小的单元， 2 SAW 谐振器分析 相邻的单元通过节点来相连，每个小区域内的场 2.1 SAW 谐振器结构 量通过这个单元的节点的场量经过形函数插值表 示，从而转化为求解节点场量的问题。ANSYS 如图1 是一个单端口SAW 谐振器的结构示 的有限元压电耦合分析通常是由以下三个步骤组 意图。由IDT 电极，左反射栅，右反射栅和基底 成： 压电介质组成。反射栅的指条宽度和指条间隔与 预处理：输入材料参数，为基底介质选择压 IDT 的都是相等的。反射栅指条反射中心间的距 离是IDT 激发波长的一半，因此每根指条反射声 电单元，电极采用普通单元。对谐振器采用无限 波的与传播方向上的声波相位相差整数波长，因 周期延伸的近似，模拟一个IDT 周期，根据表面 此得到加强。其他的频率的波则因为相位不是相 波的性质，在深度方向只延伸2 个波长，从而建 差整数波长，因此衰减了。所以，因为反